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【求助】据说XFS可以分析痕量元素,不知道实际情况如何?

X射线荧光光谱仪(XRF)

  • 本人希望分析半导体薄膜表层元素的含量,由于某些元素含量可能极少,普通能谱/波谱仪无法分辨,听说X射线荧光谱可以分析到10ppm,不知道实际效果如何?
    另外,本人是西安的,哪位如果知道西安有比较好的x射线荧光谱仪,麻烦告知一下小弟,谢谢
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  • huibingzhang

    第1楼2007/10/22

    对你的分析要求还没太清楚,需要的话可以给我打电话聊聊,我的电话13911134041。

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  • nameylf

    第2楼2007/10/22

    X射线荧光光谱仪有很多类型,从你描述的情况来看,初步感觉你应该选用全反射X荧光分析仪。

    wwworm 发表:本人希望分析半导体薄膜表层元素的含量,由于某些元素含量可能极少,普通能谱/波谱仪无法分辨,听说X射线荧光谱可以分析到10ppm,不知道实际效果如何?
    另外,本人是西安的,哪位如果知道西安有比较好的x射线荧光谱仪,麻烦告知一下小弟,谢谢

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  • pxlzhb2000

    第3楼2007/10/26

    常规的XRF能谱仪的检测线在100ppm以上,且标样很难买到。全反射XRF能谱仪制样简单,检出限在ng级,应该适合您!详情可查看http://www.msal.net/

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  • 沧浪之水

    第4楼2007/10/27

    不是据说,事实如此!我用的是帕纳科PW4400 XRF,某些元素的检出限可精确到1个ppm,看你要分析什么元素吧,检出限在10个ppm一下的元素很多!

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  • nameylf

    第5楼2007/10/27

    烦请描述的再详细一些,让大家共同分享你的工作成果,谢谢。

    j-xinjun9802 发表:不是据说,事实如此!我用的是帕纳科PW4400 XRF,某些元素的检出限可精确到1个ppm,看你要分析什么元素吧,检出限在10个ppm一下的元素很多!

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  • george

    第6楼2007/10/29

    如果只是样品的薄膜表面里含有10ppm,估计目前的XRF都没有办法分析出来的。

    wwworm 发表:本人希望分析半导体薄膜表层元素的含量,由于某些元素含量可能极少,普通能谱/波谱仪无法分辨,听说X射线荧光谱可以分析到10ppm,不知道实际效果如何?
    另外,本人是西安的,哪位如果知道西安有比较好的x射线荧光谱仪,麻烦告知一下小弟,谢谢

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