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【求助】电子束刻蚀

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 如何用SEM做电子束刻蚀?有什么特殊装备吗?
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  • l_feier

    第1楼2007/05/30

    SEM 可以做电子刻蚀?
    没听过
    是FIB吗?

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  • Insp_b1e81257

    第2楼2018/01/02


    我是专门做扫描电镜的,您可以和我联系,qq:3390696138.

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  • m2921742

    第3楼2018/08/26

    加图形发生器,EBL

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  • Lei Wang_N

    第4楼2018/10/01

    电子束曝光系统吧 画图案然后 曝光光刻胶

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