【讨论】高纯气体中痕量杂质检测方法有哪些

大致还有化学法、电化学法、红外、吸收光谱、发射光谱、分光、射线法，林林总总，太多了。而且痕量杂质的种类也非常的多。

要看你测什么杂质,有些仪器可以方便快捷地测某种物质,如微量氧,微量水,CO2分析仪等,他们的原理有电分解,有原电池,有红外等.色谱是可以分析高纯气体的多种微量杂质

应助达人

建议您先大概判断要做什么杂质分析，然后再选择合适的仪器和分析方法以及测试条件。

高纯气体中的水 显然是使用露点仪测量 常用电容式露点测试仪
高纯气体的微量氧 燃料电池氧分析仪 测到10ppb没有问题
高纯气体微量汞 汞分析仪
色谱也非常常用

我说说气相色谱法在高纯气体中的应用
1、检测高纯气体中微量的氧、氮，ppb级（结合变温浓缩法）
2、检测高纯气体中微量的一氧化碳、二氧化碳、甲烷 0.5ppm级
3、检测高纯气体中微量的有机物 ppb级

当然还有：氩放电型气相色谱仪，氧化锆气相色谱仪、质谱仪等

用红外测高纯气体中的微量水分，好像国内做的不多，谁有这方面的经验，可以拿出来分享一下。

确实不多，有用傅立叶变换来做的
但是没有水分仪方便
气体中水分还是五氧化二磷、露点、光腔衰荡以及电容等快速方便

我们考虑用FTIR来做，国标中的方法对我们来讲显得有些粗糙。另外，高纯气体中的痕量有机物如果想富集进GC的话，哪位老师有比较好的溶剂，请指教。