其他仪器综合讨论
silva
第1楼2007/08/21
这方面真还没有看到有明显的范围，一般都是尽量让错配度小，越小越好。
lilele
第2楼2007/08/28
一般的说位错密度要在10000/cm2以下，才可以。
第3楼2007/08/28
位错密度？这方面的文章和书籍一点也没接触过，能详细说一下吗？谢谢！
xawfnh
第4楼2007/09/22
随便找本半导体材料书就有
wu_yan
第5楼2009/02/16
这个问题与位错密度无关，主要在于两种材料的晶格失配大小。如果失配相差很大，建议先外延缓冲层（晶格常数介于衬底和需要的材料之间），将缓冲层的质量长好后，再外延需要的材料。但是位错密度会影响外延材料的晶体质量，因此也会间接有些影响。
第6楼2009/02/16
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