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【分享】中国电子行业超纯水国家标准(GB/T11446.1-1997 )

chy813

2007/09/04

(GB/T11446.1-1997 )

指标名称一级水（EW-1）二级水（EW-2）
　电阻率MΩ.CM. （25℃） 18(95‰时间)不低于17 15(95‰时间)不低于13
　　硅≤μg/L 2 10
　＞1μm　微粒数 0.1 5
　细菌个数≤/ml 0.01 0.1
　　铜　≤μg/L 0.2 1
　　锌　≤μg/L 0.2 1
　　镍≤μg/L 0.1 1
　　钠≤μg/L 0.5 2
　　钾　≤μg/L 0.5 2
　　氯≤μg/L 1 1
　硝酸根≤μg/L 1 1
　磷酸根≤μg/L 1 1
　硫酸根≤μg/L 1 1
　总有机碳≤μg/L 20 100

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