各位专家，你们好！ 我在电路板厂，一工艺为化镍浸金，现我要控制镀镍层中磷的含量，大约为5——12%，请问这种固相元素分析，哪种仪器比较

如果是测镀镍层（是固体还是液体？）中的磷含量，ICP只能测液体中的金属，对非金属效果差些。用EDX可定性磷元素，但只能得到粗略定量结果。

而EDXRF（能量色散X荧光光谱仪）和WDXRF（波长色散X荧光光谱仪）这两种既可做固体中的磷含量也可测液体中的磷含量，但要有相应软件配合。

要确定买那种仪器，不是轻而易举的事，应做相应的调研，多咨询几家仪器公司。

这个分析如果误差要求不是特别高，EDX足够了，但要求你的制样要表面平滑，因为P的定量是用能量比较低的Kalpha峰来定的，所以一定要注意Ni的前后两个主峰是否基本平齐，来判断是否P有严重的本底吸收。用比较好的扫描电镜配合观察位置就能比较好的测量了。

对于ICP，也应该没有问题，可以通过消解之后来测量，有经验的老师还是很容易得到比较准确的结果的。