其他仪器综合讨论
silva
第1楼2007/10/29
实行产业化,我觉得暂时还很难,因为MBE设备本身比较复杂,而且做材料所需时间比较长。
perper2
第2楼2009/04/15
最新的3-5技术与Si技术 可以实现快速升降温 自动wafer传递 10"wafer 已经基本具备量产能力 唯一一点是生长速度
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