KLAR50电阻率测试仪_价格-上海纳腾仪器有限公司

R50电阻率测试仪

参考价：面议

型号：

R50

产地：

福建

品牌：

KLA

评分：

产品详情

Filmetrics的薄膜电阻测量设备开发源自于有着超过30年经验的KLA的薄膜电阻计量技术，并由20年台式测量设备开发经验的Filmetrics团队完善了桌面式方块电阻测量产品。KLA薄膜电阻测量技术包括接触（4PP）和非接触（EC）方法。

Filmetrics的R50系列方块电阻测量仪器可测量沉积在各种基材上的导电片和薄膜，跨越10个数量级范围电阻率，包括：

半导体晶圆基板

玻璃基板

塑料（柔性）基材

PCB图案特征

太阳能电池

平板显示层和图案化特征

金属箔

二、主要功能

l 技术规格

测量范围：5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;

测量精度： +/- 1%；

重复度：小于 0.2%；

样品图中无限量的测量点位，自定义测量Recipe，可线性、矩形、

极坐标以及自定义等。

Model	Description
R50-4PP	四探针测试自动XY移动台-100mm*100mm 可实现直接100mm晶圆方块电阻mapping测量可放置直径200mm晶圆样品
R50-EC	非接触涡流测试自动XY移动台-100mm*100mm 可实现直接100mm晶圆方块电阻mapping非接触测量可放置直径200mm晶圆样品
R50-200-4PP	四探针测试自动XY移动台-200mm*200mm 可实现直接200mm晶圆方块电阻mapping测量
R50-200-EC	非接触涡流测试自动XY移动台-200mm*200mm 可实现直接200mm晶圆方块电阻mapping非接触测量

三、应用

支持广泛的测量，包括但不限于以下各项：

金属膜厚度、基板厚度、方块电阻、电阻率、电导率、掺杂浓度等。

上海纳腾仪器有限公司为您提供KLAR50电阻率测试仪，KLAR50产地为福建，属于四探针方阻测试仪，除了R50电阻率测试仪的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多四探针方阻测试仪,上海纳腾客服电话400-860-5168转1679，售前、售后均可联系。