上海纳腾仪器碳化硅长晶炉碳化硅SiC长晶设备

产品详情

Intelligent PVT SiC System (IPS)系列SiC晶体生长系统是实现高质量SiC晶体生长、高纯度原料合成、高温晶体热处理的专业设备。广泛应用于SiC晶体生长、原料合成、晶体热处理领域。可以生长6/8英寸的晶锭。微信图片_20240428145423.png

特点

．真空炉腔系统较为限本底真空值达到≤5.0E-5Pa，升压率≤3Pa/12h，保证晶体生长的稳定性

．智能化生长及监测系统，实现多种制程精确定制，工艺优化，长晶全过程实时监控，数据可视化存档

．新型感应加热线圈设计，有效提高热场加热的均匀性和稳定性
．业内首创的PIM自检系统，有效减免制程时间浪费
．稳定可靠的水冷系统，实现了水道管路温度、流量的实时监控，保证了生长室温场的稳定性
．可生产6英寸P级碳化硅衬底，微管缺陷密度＜0.5个／cm2，电阻率达0.015-0.0280

上海纳腾仪器有限公司为您提供上海纳腾仪器碳化硅长晶炉碳化硅SiC长晶设备，上海纳腾仪器碳化硅SiC长晶设备产地为上海，属于国产单晶炉，除了碳化硅长晶炉的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多单晶炉,上海纳腾客服电话400-860-5168转1679，售前、售后均可联系。

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 上海纳腾仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(国内合资)
信用代码: 91310117685505991R
成立日期: 2009年03月12日
注册资本: 人民币100.0000万元整
经营范围: 分析仪器及配件、教学仪器及配件研发、生产(除计量器具)、销售;家用电器、电子产品、日用百货、办公用品、机械设备、计算机及配件、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)批发零售;纳米、医疗、化学、生物专业领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务(不得从事诊疗活动、心理咨询);从事货物及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)

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