50nm氮化硅薄膜窗口实现原子分辨

2011-09-02 11:00 下载量：4

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Silicon nitride membranes can be used for windows of environmental chambers for in situ electron microscopy.WereportthataberrationcorrectedscanningtransmissionelectronmicroscopySTEM achieved atomic resolution on gold nanoparticles placed on both sides of a 50-nm-thick siliconnitride membrane at 200 keV electron beam energy. Spatial frequencies of 1/1.2 A were visible for a beam semi-angle of 26.5 mrad. Imaging though a 100-nm-thick membrane was also tested. The achieved imaging contrast was evaluated using Monte Carlo simulations of the STEM imaging of a sample of with a representative geometry and composition.

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上海纳腾仪器有限公司

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