OLED IVL设备应用论文

2012-05-19 14:15 下载量：16

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OLED (Organic Light Emitting Display，中文名有机发光显示器）是指有机半导体材料在电场驱动下，通过载流子注入和复合导致发光的现象。 OLED相比LCD在自发光、低功耗、突出的识别性等优秀特性上已得到认可，作为次世代显示备受关注。随着去年12月LG电子在全球率先公开55英寸3D OLED TV，三星电子在CES 2012上也推出了55英寸超级OLED TV。按这种形势来看2012年开始进入了OLED TV的时代，基于未来OLED TV能扩大至LCD领域的可能性，大面积OLED 量产技术将成为大的热点。 IVL测试系统作为研究OLED显示，OLED照明,OLED有机电池等最基础的工具，被业界客户广泛使用，客户用我们的设备发表的论文达几十篇。

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文献贡献者

南京伯奢咏怀电子科技有限公司

银牌会员 | 第16年

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ALD IGZO适用于Monolithic 3D 一体化

简介：在半导体产业中，通过规模化的小型化和集成化来提高元件性能和减少耗电量几乎达到了物理极/限。另外，随着内存的遗传体越来越高和薄，衰变的可能性也会增加，因此会减少元件的可靠性。为了克服半导体工程的微细化局限性，可以利用层层堆积的三维集成工程——M3D(Monolithic 3D)技术，而不是将现有的元件水平配置的结构。M3D技术可以确保集成度、性能及经济性，因此为了商用化，很多企业及研究所正在积极进行R&D。然而，在M3D集成过程中，可能会出现下层器件中掺杂剂的扩散、特性变化和布线尺寸变化等，因此上层工艺温度存在限制。为了防止下级的性能下降，上部通道物质的工程温度必须维持在450度以下。由于IGZO可以在低温下沉积，因此很多研究将IGZO应用于M3D元件，如CMOS元件或在RRAM上叠加IGZO OSFET等。 Z近由于IGZO TFT的长时间retention导致的非常低的off-current(Ioff)特性，也适用于capacitor-less DRAM(2T0C)的开发。ALD IGZO具有conformal增着和优秀的厚度调节，cycle数调节的组成control非常自由，因此可以很容易形成不同的双层结构，被期待积极应用于优秀的M3D元件。 NCD公司正在开发采用独创技术的IGZO工程用配置ALD设备(LucidaTM GD Series)，目前在大面积上也确保了优秀的薄膜性能和高产能。此外，LucidaTM S Series也有望用于应用IGZO TFT的Logic、Memory和electro optics等M3D integration的开发。LucidaTM S series是半导体用高酸性ALD装置，大小为300毫米wafer，可进行thermal和plasma ALD工程。可用于具有优良性能和薄膜均匀度的多种氧化物(HfO2, ZrO2)及金属(TiN, TaN, Ru)薄膜的沉积。
阳离子组成对作用于ALD制备的In-Ga-Zn-O TFT沟道的偏应力稳定性的影响

简介：近年来，非晶态In-Ga-Zn-O(a-IGZO)材料。主要用作背板的通道材料。平板显示器(FPD)的TFT由于其优越性. 具有均匀性好、通断电流大等特点;与其他无定形氧化物相比，具有更高的载流子迁移率.
高性能有机材料金(III)配合物设计发光器件

简介：有机电致发光器件(OLED)已经得到了广泛的应用。而且很有希望成为下一代的候选者(全彩色显示器和固态照明应用).
棒涂敷设备在OTFT中的应用

简介：通过最少溶液棒涂敷法大面积印刷低电压有机薄膜晶体管.近年来，有机薄膜晶体管(OTFT)引起了人们的广泛关注;在各种功能电子器件和显示器中的潜在用途受到相当大的关注。