热蒸发镀膜机

参考价：$3.7万

核心参数

创新点

1.模块化设计，灵活配置，成本较低； 2.占地较小，移动方便； 3.多蒸发舟，可进行多层膜沉积及复杂工艺； 4.触摸屏控制，自动化程度提高；

紧凑磁控溅射镀膜机

磁控溅射镀膜机(Sputter)

热蒸发镀膜机 (Thermal Evaporator System)

产品详情

热蒸发镀膜机 - 极高性价比！

型号：EasyDEP

产地：韩国原装进口

仪器特点：

1/ 沉积材料：金属；

2/ 膜厚均匀性：≤ ± 5 % (4英寸基底)；

3/ 沉积方式：热蒸发舟；

4/ 极限真空：5.0 x 10 ^-6 Torr；

技术规格：

1/ 最大样品尺寸：6英寸；

2/ 基底旋转：0~10rpm；

3/ 不锈钢腔体，ID250 x H300 mm；

4/ 真空泵：机械泵，150L/Min；扩散泵，215L/Sec；

5/ 薄膜厚度监控：石英振荡传感器实时厚度控制；

6/ 厚度精度：0.5%；

7/ 热蒸发源：4英寸热蒸发舟，交流电源；

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