磁控溅射镀膜机(Sputter)
磁控溅射镀膜机(Sputter)

磁控溅射镀膜机(Sputter)

参考价：¥50万 - 80万
型号： SC-450
产地： 美国
品牌：
评分：
核心参数
载德半导体技术有限公司
铜牌会员 丨 11年
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产品详情

仪器特点：

  • 腔体材料：不锈钢，铝，或者Bell Jar；

  • 分子泵：70，250，500 l/sec； 一级泵：机械泵或干泵；

  • 13.5MHz, 300-600W射频电源；1KW直流电源；

  • QCM在线厚度测量，厚度分辨率<0.1nm；

  • 带有观察窗的门，方便样品取放；

  • Labview软件，PC控制；

  • 多重密码保护；

  • 全安全互锁设计；

 

选配功能：

  • 向上，向下，侧向溅射；

  • 射频，直流、脉冲直流溅射；

  • 共溅射，反应溅射；

  • 组合溅射；

  • 射频、直流偏置(1000V)；

  • 基底加热：不高于700摄氏度；

  • 厚度监控；

  • 基底射频等离子清洗；

  • Load-Lock，以及自动样品取放；

 

不同型号选择：

  • NSC系列，立式磁控溅射系统；

  • NSC系列，立式紧凑磁控溅射系统；

  • NSC系列，台式磁控溅射系统；

  • 双腔体系统，NSR系列，磁控溅射+反应离子刻蚀(RIE)；

  • 双腔体系统，NSP系列，磁控溅射+PECVD；

  • 双腔体系统，NST系列，磁控溅射+热蒸发；

     

载德半导体技术有限公司为您提供磁控溅射镀膜机(Sputter)SC-450，nullSC-450产地为美国，属于进口镀膜机，除了磁控溅射镀膜机(Sputter)的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多镀膜机,载德半导体客服电话400-860-5168转3241，售前、售后均可联系。

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