资料摘要
资料下载基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进控制技术和傻瓜化的操作，使用薄膜应力测量仪高温条件下快速原位测试薄膜残余应力。
文献贡献者
薄膜内应力表征方案
简介：针对硬质涂层，半导体薄膜等薄膜残余应力测试表征。基于基片弯曲法Stoney公式测量原理，利用光杠杆技术获得基本曲率半径，进而换算获得应力数据。根据不同应用场景，具有两种测试模式：测试范围内各个数据点应力mapping数据或样品表面整体平均残余应力。
辉光放电处理——电镜样品真空等离子清洗及亲水活化
简介：1.离化空气产生活性氧原子及臭氧清洗表面有机污染物； 2.离化空气产生等离子体活化表面，提高表面亲水性； 3.无热损伤，无离子轰击损伤； 4.一体式设备，即插即用，空气气源（无需额外气源）。
大气等离子清洗笔杀菌除电镜样品有机污染物
简介：1.便携手持式大气冷等离子发生器； 2.无需额外气源，利用空气作为气源； 3.通过离化空气产生臭氧清洗表面有机污染物； 4.灭菌或抑菌作用； 5.高效，即插即用。
TEM样品杆真空存储站作用效果讨论
简介：若TEM样品杆长期暴露于大气，空气中水汽及残留污染物会附着于样品杆表面。当样品杆重新安装样品并插入TEM中时，会发生： 1.样品杆表面（包括杆内外表面）残存水汽缓慢地释放，大大延长了TEM抽真空时间（由于原位TEM样品杆内部结构复杂，内表面积大大增加，其进入TEM后抽真空延时现象尤甚）； 2.残留污染物会污染待观察样品，甚至会污染TEM真空腔室及内部极靴、探测器等等。 从实用角度考虑，平时不用时，将样品及样品杆存放于真空存储站内；需要使用时，将样品杆从真空存储站内取出，固定好样品后即时插入TEM中。如此就能够保证样品杆与大气中水汽及污染物最大程度的隔绝，有效保证：1.TEM样品抽真空时间大大缩短；2.减少对TEM真空腔室及部件的污染。
贵金属电极材料/光电薄膜材料制备技术资料
简介：ISC150离子溅射仪升级版本，采用无油隔膜泵+分子泵获得高真空环境，保证样品喷金处理过程不会产生二次污染。特别适用于追求高分辨率FE-SEM样品的喷金喷铂，光电薄膜制备，电极材料制备及其他金属镀膜用途。 150T版本离子溅射仪主要的特点就是“无油，高真空”，制备薄膜纯度更高，薄膜质量更优；并且能够在超净间内使用。
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