日本大塚电子显微分光膜厚仪OPTM_价格-上海艾尧科学仪器有限公司

产品详情

简介

OPTM显微分光膜厚仪作为FE-3000的升级版，采用分光干涉技术，实现纳米级高精度测量，适用于多种材料的无损非接触式检测。其特点包括非接触、非破坏式的测量方式，高精度与高再现性，快速检测时间仅1秒，并支持最小3μm的微区测量。该设备覆盖紫外至近红外波段，能够分析多层薄膜厚度及光学常数。配备自动高精度mapping样品台，适合大面积样品的厚度分布检测。此外，通过反射対物镜专利技术，即使对于透明基板也能确保高精度膜厚测量。

OPTM显微分光膜厚仪是FE-3000反射分光膜厚计的第二代产品。OPTM沿用分光干涉法，可测量绝对反射率、多层膜厚、折射率和消光系数，纳米级测量，精度高。OPTM可用于FPD构件（PI膜、ITO膜、CF膜）、光触媒、汽车零件DLC膜、半导体材料氧化层、光学材料薄膜等材料的无损非接触式测量，检测时间仅需1秒。

产品特点：

◆ 非接触、非破坏式，量测头可自由集成在客户系统内

◆ 初学者也能轻松解析建模的初学者解析模式

◆ 高精度、高再现性量测紫外到近红外波段内的绝对反射率，可分析多层薄膜厚度、光学常数（n：折射率、k：消光系数）

◆ 单点对焦加量测在1秒内完成

◆ 显微分光下广范围的光学系统（紫外 ~ 近红外）

◆ 独立测试头对应各种inline定制化需求

◆ 最小对应spot约3μm

◆ 独家专利可针对超薄膜解析n k

产品参数：

	OPTM-A1	OPTM-A2	OPTM-A3
波長範圍	230 ~ 800 nm	360 ~ 1100 nm	900 ~ 1600 nm
膜厚範圍	1nm ~ 35μm	7nm ~ 49μm	16nm ~ 92μm
測定時間	1秒 / 1點
光徑大小	10μm (最小約5μm)
感光元件	CCD		InGaAs
光源規格	氘燈+鹵素燈		鹵素燈
電源規格	AC100V±10V 750VA（自動樣品台規格）
尺寸	555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品台規格之主體部分)
重量	約 55kg（自動樣品台規格之主體部分）

反射对物镜专利：

如果是透明基板，因里面的反射光而无法正确测出膜厚。通过反射対物镜片，可物理性的消除里面反射。即使是透明基板也可测出高精度的膜厚,特别是对带有光学非均质的基板。

3微米微区测量：

在软件上通过同时显示样品画面和测定光采取部位，可很好的确认到测定点。

特别是对有微小点的形状的样品有效。（最小Φ3μm）

自动高精度mapping样品台：

OPTM标配XY自动平台，仅需输入坐标即可自动多点检测大面积样品，实时获取厚度分布图。平台设有防误触光栏，避免检测过程误触。平台尺寸200mm×200mm，最大可以检测12寸晶圆。

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型号：	OPTM
产地：	日本
品牌：	日本大塚电子
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