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Onto晶圆表面缺陷检测仪
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| 型号： | PrimaScan |
| 品牌： | 儒米娜/LUMINA |
| 产地类别： | 进口 |
| 产地： | 美国 |
| 厂商性质： | 一般经销商 |
| 评分： |
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| 更新时间： | 2026/06/30 |
- 仪器类别： 光学非图形化缺陷检测设备
- 晶圆尺寸： 300mm
儒米娜晶圆缺陷光学检测设备
儒米娜PrimaScan
进口晶圆缺陷光学检测设备
一、简介
PrimaScan光学表面缺陷分析仪可对玻璃、半导体及光电子材料进行表面检测。PrimaScan既能够检测SiC、GaN、蓝宝石和玻璃等透明材料，又能对Si、砷化镓、磷化铟等不透明基板进行检测，其价格优势使其成为适合于研发/小批量生产过程中品质管理及良率改善的有力工具。
PrimaScan结合散射测量、椭圆偏光、反射测量与表面斜率等基本原理，以非破环性方式对Wafer表面的残留异物，表面与表面下缺陷，形状变化和薄膜厚度的均匀性进行检测。
1.偏振通道用于薄膜、划痕和应力点；
2.坡度通道用于凹坑、凸起；
3.反射通道用于粗糙表面的颗粒；
4.暗场通道用于微粒和划痕；
二、 功能
l 主要功能
1. 缺陷检测与分类
2. 缺陷分析
3. 薄膜均一性测量
4. 表面粗糙度测量
5. 薄膜应力检测
l 技术特点
1.透明、半透明和不透明的材料均可测量，比如硅、化合物半导体或金属基底；
2.实现亚纳米的薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像；
3.150mm晶圆全表面扫描的扫描时间为3分钟，50x50mm样品30秒内可完成扫描并显示结果；
4.高抗震性能，系统不旋转，形状无关，可容纳非圆形和易碎的基底材料；
5.高达300x300mm的扫描区域；可定位缺陷，以便进一步分析；技术能力
三、应用案例
1. 透明/非透明材质表面缺陷检测
2. MOCVD外延生长成膜缺陷管控
3. PR膜厚均一性评价
4. Clean制程清洗效果评价
5. Wafer在CMP后表面缺陷分析
6. 多个应用领域，如AR/VR、玻璃、光掩模版、蓝宝石、硅片等
- 保修期： 1年
- 是否可延长保修期： 是
- 现场技术咨询： 有
- 免费培训： 有
- 免费仪器保养： 6月1次
- 保内维修承诺： 免费维修更换零件
- 报修承诺： 48小时内响应
儒米娜Onto晶圆表面缺陷检测仪PrimaScan由上海艾尧科学仪器有限公司提供，产地为美国，属于进口晶圆缺陷光学检测设备，符合多项国家和国际分析标准， 广泛应用于半导体等领域，儒米娜Onto晶圆表面缺陷检测仪PrimaScan凭借其创新性与实用性，在晶圆缺陷光学检测设备用户中获得广泛关注。
据仪器信息网显示：该仪器已通过“仪器优选”认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异，入选晶圆缺陷光学检测设备近30天热度榜。
根据艾尧仪器官方产品资料显示：儒米娜Onto晶圆表面缺陷检测仪PrimaScan的仪器类别为光学非图形化缺陷检测设备，晶圆尺寸为300mm，儒米娜Onto晶圆表面缺陷检测仪PrimaScan的价格为面议，具体型号是PrimaScan，品牌为儒米娜。
在同系列产品中，您还可以选择以下型号:
产品名称 |
品牌 |
型号 |
产地类型 |
价格 |
|---|---|---|---|---|
|
荷兰Fastmicro晶圆表面颗粒检测仪
|
Fastmicro |
FM-PDS |
进口 |
面议 |
|
Candela光学表面缺陷检测仪
|
KLA |
Candela |
进口 |
面议 |
|
Park NX-Hybrid WLI白光干涉原子力显微镜
|
Park 原子力 |
NX-Hybrid WLI |
进口 |
面议 |
客户服务热线：400-616-7676,1611（售前/售后支持）
官方链接：https://m.instrument.com.cn/netshow/SH104306/C495449.html
来源：上海艾尧科学仪器有限公司
工商信息
信息已认证
- 企业名称: 上海艾尧科学仪器有限公司
- 企业类型: 有限责任公司
- 信用代码: 91310230MA1K17UD9U
- 成立日期: 2018年07月06日
- 注册资本: 100万元
- 经营范围: 仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、...
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