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荷兰Fastmicro表面颗粒检测仪
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| 型号： | FM-PS-SAS-V01 |
| 品牌： | Fastmicro |
| 产地类别： | 进口 |
| 产地： | 荷兰 |
| 厂商性质： | 一般经销商 |
| 评分： |
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| 更新时间： | 2026/06/30 |
- 仪器种类： 光学颗粒计数器
Fastmicro颗粒计数器
FastmicroFM-PS-SAS-V01
进口颗粒计数器
一、仪器名称：表面颗粒度检测仪
二、品牌型号：荷兰Fastmicro公司FM-PS-SAS-V01型
荷兰Fastmicro FM-PS-SAS-V01型表面颗粒度检测系统，采用采样器在待测样品表面取样，间接测量样品表面颗粒污染水平。采样器从待测样品表面收集颗粒（90%的表面颗粒都会被收集），且不会留下任何残留物。样品测试在几秒钟内即可完成，客户能够在一分钟内完成整个工作流程。
主要用于半导体设备制造商及芯片制造商评价设备及零部件的清洁度，判断设备是否会引入颗粒污染，进而判断设备是否可以用于芯片生产，如果表面有颗粒污染，需要进行清洁才能正常运行。同时该设备可用于监测超净间的洁净水平。
四、原理简介
采用专利技术米氏散射原理检测表面微观颗粒，光源发出的平行光照射待测表面，遇到表面的突起颗粒发生米氏散射，摄像头传感器以一定角度接收到散射信号，根据散射信号可获取关于待测表面颗粒尺寸信息。
五、主要参数
速度 | 225mm2内秒级成像； 整个流程1分钟内完成（取样+测试）； |
数据输出 | 颗粒位置； 颗粒尺寸； 带有粒子标记的图像； 可导出KLARF和Excel文件； 数据通过USB或以太网输出； |
易于操作 | 操作简单； |
检测范围 | 最小可检测500nm大小PSL颗粒； |
重复性 | 更换采样器后, 90%的颗粒被统计，PSL颗粒大于500nm； |
测量精度 | ＜20%（测试PSI颗粒） |
无损，无交叉污染 | 取样器不会引人新的污染，测量过程属于非接触无损测量 |
对取样器和样品处理的要求 | 需要使用经过认证的取样器以及支架； 采样器的污染水平要比客户样品的污染水平低10倍； 洁净室ISO7，等级10000或更高； 可选配粒子沉降模块，用于监测粒子沉降，判断超净间的洁净程度 |
产品尺寸 （长*宽*高） | 615mm*300mm460mm |
六、应用案例
七、选项
（1）取样器
颗粒去除率>90%，并且PMC不会留下任何残留物。采样器存放在一个特定的盒子中。
（2）洁净间粒子沉降监测模块
该模块包含两部分：
n 晶圆支架：用于关键区域的颗粒收集
n 适配器器：将支架固定方便放入表面颗粒扫描仪中进行扫描分析
将标准晶圆放置在晶圆支架上，将晶圆支架放置超净间或者制造地点，持续一段时间检测沉积在晶圆表面的颗粒情况，判断超净间或者制造地点的颗粒沉降水平，符合ISO 14644-17标准，它对评价超净间的洁净程度及洁净室内的相关半导体工艺开发特别有用。
- 保修期： 1年
- 是否可延长保修期： 是
- 现场技术咨询： 有
- 免费培训： 有
- 免费仪器保养： 6月1次
- 保内维修承诺： 免费维修更换零件
- 报修承诺： 48小时内响应
荷兰Fastmicro表面颗粒检测仪FM-PS-SAS-V01由上海艾尧科学仪器有限公司提供，产地为荷兰，属于进口光学颗粒计数器颗粒计数器，符合多项国家和国际分析标准， 广泛应用于电子/电气、半导体、医疗/健康、钢铁、航空航天、制药/生物制药、军工、机械等领域，荷兰Fastmicro表面颗粒检测仪FM-PS-SAS-V01凭借其创新性与实用性，在颗粒计数器用户中获得广泛关注。
据仪器信息网显示：该仪器已通过“仪器优选”认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异。
根据艾尧仪器官方产品资料显示：荷兰Fastmicro表面颗粒检测仪FM-PS-SAS-V01的仪器种类为光学颗粒计数器，荷兰Fastmicro表面颗粒检测仪FM-PS-SAS-V01的价格为面议，具体型号是FM-PS-SAS-V01，品牌为Fastmicro。
在同系列产品中，您还可以选择以下型号:
产品名称 |
品牌 |
型号 |
产地类型 |
价格 |
|---|---|---|---|---|
|
理音RION液体颗粒计数器
|
理音 |
KS-42AF |
进口 |
面议 |
|
日本理音RION液体颗粒度仪
|
理音 |
KS-19F，KS-18F |
进口 |
面议 |
客户服务热线：400-616-7676,1611（售前/售后支持）
官方链接：https://m.instrument.com.cn/netshow/SH104306/C315693.html
来源：上海艾尧科学仪器有限公司
工商信息
信息已认证
- 企业名称: 上海艾尧科学仪器有限公司
- 企业类型: 有限责任公司
- 信用代码: 91310230MA1K17UD9U
- 成立日期: 2018年07月06日
- 注册资本: 100万元
- 经营范围: 仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、...
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