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日本Elionix电子束曝光机
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| 型号： | ELS-F125 |
| 品牌： | ELIONIX INC. |
| 产地类别： | 进口 |
| 产地： | 日本 |
| 厂商性质： | 一般经销商 |
| 评分： |
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| 更新时间： | 2026/06/30 |
- 最小线宽： 5nm
- 电子束直径： 1.7nm
- 束流电压范围： 125kv
ELIONIX INC.电子束曝光
ELIONIX INC.ELS-F125
进口电子束曝光
品牌：Elionix
型号：ELS-F125/F100/HS50
电子束曝光，电子束直写，电子束光刻
用途：利用电子束在抗蚀剂上书写纳米级图案，通过ELB设备曝光和显影，可用于加工sub-10nm的精细结构。
一、简介
ELS-F125是Elionix推出的世界上最早的加速电压高达125KV的电子束曝光系统之一，其可加工线宽下限为5nm的精细图形。(以下参数基于ELS-F125)
ELS-F125具有以下优点：
l 超高书写精度
- 5 nm 线宽精度 @ 125 kV
- 1.7 nm 电子束直径&邻近效应最小化 @ 125 kV
l 高通量、均匀性好
- 超大视野书写:500um视场下10 nm线宽
- 高束流下电子束直径依然很小，高通量而不影响分辨率，2 nm 电子束直径@ 1 nA
l 界面用户友好
基于Windows系统的CAD和SEM界面:
-简单易用的图案设计功能
-易于控制的电子束条件
二、主要功能
l 主要应用
纳米器件的微结构
集成光学器件，如光栅，光子晶体等
NEMS结构，复杂精细结构
光刻掩模板，压印模板
l 技术能力
型号 | ELS-F125 | ELS-F100 | ELS-HS50 |
电子枪 | ZrO/W 热场发射枪 | ZrO/W 热场发射枪 | ZrO/W 热场发射枪 |
加速电压 | 125 kV, 75 kV, 25 kV | 100 kV, 50 kV, 25 kV | 50 kV, 20 kV |
最小束流直径 | Φ 1.7 nm (@ 125 kV) | Φ 1.8 nm (@ 100 kV) | Φ 2.8nm (@ 50 kV,1 nA) |
最小线宽 | 5 nm or less (@125 kV) | 6 nm or less (@100 kV) | 20 nm (@ 50 kV, 2 nA) |
电子束束流 | 5 pA to 100 nA | 20 pA to 100 nA | 1 nA to 1 μA |
视场范围 | Max. 3,000 μm ｘ 3,000 μm | Max. 3,000 μm ｘ 3,000 μm | Max. 3,000 μm ｘ 3,000 μm |
Min. 100 μm ｘ 100 μm | Min. 100 μm ｘ 100 μm | Min. 100 μm ｘ 100 μm | |
束流定位 | Max. 1,000,000 ｘ 1,000,000 (20bit DAC) | Max. 1,000,000 ｘ 1,000,000 (20bit DAC) | Max. 1,000,000 ｘ 1,000,000 (20bit DAC) |
束流定位分辨率 | Min. 0.1 nm | Min. 0.1 nm | Min. 0.1 nm |
大样品尺寸 | 8" wafer or 7" square mask | 8" wafer or 7" square mask | 8" wafer or 7" square mask |
三、应用
- 保修期： 1年
- 是否可延长保修期： 是
- 现场技术咨询： 有
- 免费培训： 有
- 免费仪器保养： 6月1次
- 保内维修承诺： 免费维修更换零件
- 报修承诺： 48小时内响应
ELIONIX INC.日本Elionix电子束曝光机ELS-F125由上海艾尧科学仪器有限公司提供，产地为日本，属于进口电子束曝光，符合多项国家和国际分析标准， 广泛应用于电子/电气、半导体等领域，ELIONIX INC.日本Elionix电子束曝光机ELS-F125凭借其创新性与实用性，在电子束曝光用户中获得广泛关注。
据仪器信息网显示：该仪器已通过“仪器优选”认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异，入选电子束曝光近30天热度榜。
根据艾尧仪器官方产品资料显示：ELIONIX INC.日本Elionix电子束曝光机ELS-F125的最小线宽为5nm，电子束直径为1.7nm，束流电压范围为125kv，ELIONIX INC.日本Elionix电子束曝光机ELS-F125的价格为面议，具体型号是ELS-F125，品牌为ELIONIX INC.。
在同系列产品中，您还可以选择以下型号:
产品名称 |
品牌 |
型号 |
产地类型 |
价格 |
|---|
客户服务热线：400-616-7676,1611（售前/售后支持）
官方链接：https://m.instrument.com.cn/netshow/SH104306/C495339.html
来源：上海艾尧科学仪器有限公司
工商信息
信息已认证
- 企业名称: 上海艾尧科学仪器有限公司
- 企业类型: 有限责任公司
- 信用代码: 91310230MA1K17UD9U
- 成立日期: 2018年07月06日
- 注册资本: 100万元
- 经营范围: 仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、...
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