TGV全息断层扫描系统
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TGV全息断层扫描系统

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报价:面议
型号: GAVI-H
品牌: PIE
产地类别: 进口
产地: 韩国
厂商性质: 一般经销商
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更新时间: 2026/10/23
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PIE其他晶圆缺陷设备

PIEGAVI-H

进口其他晶圆缺陷设备

产品详情
简介
该设备是全球首款工业级全息断层成像仪,分辨率达161nm。专为玻璃基板TGV工艺打造,可无损、快速检测激光改性质量、TGV通孔结构及微裂纹,提供高精度三维可视化数据。

玻璃基板TGV通孔全息断层扫描检测设备

全息断层扫描(Holotomography)技术介绍

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全息断层扫描检测系统在玻璃基板TGV工艺中的应用及技术优势

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全球首款工业级全息断层成像检测设备;

分辨率 161nm,高精度三维可视化成像;

可检出 TGV 通孔与玻璃边缘微裂纹;

全球首款搭载全息断层成像技术、适用于玻璃基板的纳米级 TGV 检测设备;

搭载 AI 增强算法,可检测 TGV 通孔及玻璃边缘微裂纹;

独有无损检测(NDT)功能,可识别残余应力区域;


※应用场景1:玻璃基板激光改性后,湿法刻蚀前,检测激光改性(laser modification)质量

1、激光改性后玻璃基板内部三维成像无损快速检测

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2、激光改性产生的表面及内部微裂纹可视化成像

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3、激光改性纵向轮廓无损成像(错位分析)

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4、微裂纹密度与激光改性三维结构的无损定量检测

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※应用场景2:玻璃基板激光改性后,湿法刻蚀形成TGV通孔,检测TGV质量

1、161 纳米分辨率下 TGV 结构三维无损成像

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2、可沿通孔深度逐层无损采集 TGV 关键尺寸数据

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3、通孔中心偏移量沿深度分布的定量表征

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4、TGV 内壁粗糙度无损量测

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5、玻璃基板高精度三维微缺陷成像,为根本原因分析提供精准数据支撑

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售后服务
  • 保修期: 1年
  • 是否可延长保修期: 是
  • 现场技术咨询: 有
  • 免费培训: 有
  • 免费仪器保养: 6月1次
  • 保内维修承诺: 免费维修更换零件
  • 报修承诺: 48小时内响应
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产品小贴士

PIETGV全息断层扫描系统GAVI-H由上海艾尧科学仪器有限公司提供,产地为韩国,属于进口其他晶圆缺陷设备,符合多项国家和国际分析标准, 广泛应用于电子/电气、半导体等领域,PIETGV全息断层扫描系统GAVI-H凭借其创新性与实用性,在其他晶圆缺陷设备用户中获得广泛关注。

据仪器信息网显示:该仪器已通过“仪器优选”认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,入选其他晶圆缺陷设备近30天热度榜。

根据艾尧仪器官方产品资料显示:PIETGV全息断层扫描系统GAVI-H的价格为面议,具体型号是GAVI-H,品牌为PIE。

在同系列产品中,您还可以选择以下型号:

产品名称
品牌
型号
产地类型
价格

客户服务热线:400-616-7676,1611(售前/售后支持)

官方链接:https://m.instrument.com.cn/netshow/SH104306/C495339.html

来源:上海艾尧科学仪器有限公司

Business information
工商信息 信息已认证
  • 企业名称: 上海艾尧科学仪器有限公司
  • 企业类型: 有限责任公司
  • 信用代码: 91310230MA1K17UD9U
  • 成立日期: 2018年07月06日
  • 注册资本: 100万元
  • 经营范围: 仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、...

联系方式

艾尧仪器官方客服电话

400-616-7676转1611

仪器信息网认证

适用范围:

产品报价、选型咨询、资料获取、售后联系

主营产品:

原子力显微镜 、 纳米压痕仪 、 晶圆缺陷光学检测设备 、 薄膜应力测试仪 、 光学薄膜测量

信息来源:

艾尧仪器官方展位(仪器信息网已认证)

公司地址:

浦东新区建韵路500号

信息校验时间:

2026-10-01

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