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| 型号: | GAVI-H |
| 品牌: | PIE |
| 产地类别: | 进口 |
| 产地: | 韩国 |
| 厂商性质: | 一般经销商 |
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| 更新时间: | 2026/10/23 |
PIE其他晶圆缺陷设备
PIEGAVI-H
进口其他晶圆缺陷设备
玻璃基板TGV通孔全息断层扫描检测设备
全息断层扫描(Holotomography)技术介绍

全息断层扫描检测系统在玻璃基板TGV工艺中的应用及技术优势

全球首款工业级全息断层成像检测设备;
分辨率 161nm,高精度三维可视化成像;
可检出 TGV 通孔与玻璃边缘微裂纹;
全球首款搭载全息断层成像技术、适用于玻璃基板的纳米级 TGV 检测设备;
搭载 AI 增强算法,可检测 TGV 通孔及玻璃边缘微裂纹;
独有无损检测(NDT)功能,可识别残余应力区域;
※应用场景1:玻璃基板激光改性后,湿法刻蚀前,检测激光改性(laser modification)质量
1、激光改性后玻璃基板内部三维成像无损快速检测

2、激光改性产生的表面及内部微裂纹可视化成像

3、激光改性纵向轮廓无损成像(错位分析)

4、微裂纹密度与激光改性三维结构的无损定量检测

※应用场景2:玻璃基板激光改性后,湿法刻蚀形成TGV通孔,检测TGV质量
1、161 纳米分辨率下 TGV 结构三维无损成像

2、可沿通孔深度逐层无损采集 TGV 关键尺寸数据

3、通孔中心偏移量沿深度分布的定量表征

4、TGV 内壁粗糙度无损量测



5、玻璃基板高精度三维微缺陷成像,为根本原因分析提供精准数据支撑

PIETGV全息断层扫描系统GAVI-H由上海艾尧科学仪器有限公司提供,产地为韩国,属于进口其他晶圆缺陷设备,符合多项国家和国际分析标准, 广泛应用于电子/电气、半导体等领域,PIETGV全息断层扫描系统GAVI-H凭借其创新性与实用性,在其他晶圆缺陷设备用户中获得广泛关注。
据仪器信息网显示:该仪器已通过“仪器优选”认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,入选其他晶圆缺陷设备近30天热度榜。
根据艾尧仪器官方产品资料显示:PIETGV全息断层扫描系统GAVI-H的价格为面议,具体型号是GAVI-H,品牌为PIE。
在同系列产品中,您还可以选择以下型号:
产品名称 |
品牌 |
型号 |
产地类型 |
价格 |
|---|
客户服务热线:400-616-7676,1611(售前/售后支持)
官方链接:https://m.instrument.com.cn/netshow/SH104306/C495339.html
来源:上海艾尧科学仪器有限公司
联系方式
艾尧仪器官方客服电话
400-616-7676转1611
仪器信息网认证
适用范围:
产品报价、选型咨询、资料获取、售后联系
主营产品:
原子力显微镜 、 纳米压痕仪 、 晶圆缺陷光学检测设备 、 薄膜应力测试仪 、 光学薄膜测量
信息来源:
艾尧仪器官方展位(仪器信息网已认证)
公司地址:
浦东新区建韵路500号
信息校验时间:
2026-10-01