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Onto声学薄膜厚度测量系统
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| 型号： | Echo |
| 品牌： | 艾尧仪器 |
| 产地类别： | 进口 |
| 产地： | 马来西亚 |
| 厂商性质： | 一般经销商 |
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| 更新时间： | 2026/06/30 |
艾尧仪器光学薄膜测量
艾尧仪器Echo
进口光学薄膜测量
Echo声学薄膜厚度计量系统
产品介绍：
Echo System是金属薄膜厚度测量的行业标准。Echo系统可在所有金属薄膜上提供良好的性能，并针对在逻辑、内存和 3D 封装工艺中至关重要的薄膜单层和多层应用进行了优化。Onto Innovation 的PULSE技术提供了一种非接触式、非破坏性技术，可测量产品晶圆上多层金属薄膜叠层中每一层的厚度，而不会受到底层或层级的干扰。与光学和 X 射线技术不同，PULSE 技术使用时间分辨声学信号测量薄膜厚度，该声学信号可用于有源芯片，无需特殊的计量测试场所。
性能特点：
使用飞秒超快激光进行在线光声测量
小光斑尺寸 (8x10µm) 可在 15µm 的场地尺寸内进行测量
超越节点要求的内在工具对工具匹配
EASy 建模算法
用于维护车队控制的配方管理器
偏移检测
技术参数：
高达60 WPH 的高吞吐量
金属薄膜的典型厚度为 5nm 至 8µm，可选择延伸至 35um
能够处理 150、200、300 和 450 毫米晶圆的自动化选项
- 保修期： 1年
- 是否可延长保修期： 是
- 现场技术咨询： 有
- 免费培训： 有
- 免费仪器保养： 6月1次
- 保内维修承诺： 免费维修更换零件
- 报修承诺： 48小时内响应
艾尧仪器Onto声学薄膜厚度测量系统Echo由上海艾尧科学仪器有限公司提供，产地为马来西亚，属于进口光学薄膜测量，符合多项国家和国际分析标准， 广泛应用于生物研究、石油化工、能源、电子/电气、钢铁、航空航天、半导体、军工、机械、材料等领域，艾尧仪器Onto声学薄膜厚度测量系统Echo凭借其创新性与实用性，在光学薄膜测量用户中获得广泛关注。
根据艾尧仪器官方产品资料显示：艾尧仪器Onto声学薄膜厚度测量系统Echo的价格为面议，具体型号是Echo，品牌为艾尧仪器。
在同系列产品中，您还可以选择以下型号:
产品名称 |
品牌 |
型号 |
产地类型 |
价格 |
|---|---|---|---|---|
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Onto晶圆FTIR外延层厚度测量仪
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艾尧仪器 |
Element S |
进口 |
面议 |
客户服务热线：400-616-7676,1611（售前/售后支持）
官方链接：https://m.instrument.com.cn/netshow/SH104306/C495369.html
来源：上海艾尧科学仪器有限公司
工商信息
信息已认证
- 企业名称: 上海艾尧科学仪器有限公司
- 企业类型: 有限责任公司
- 信用代码: 91310230MA1K17UD9U
- 成立日期: 2018年07月06日
- 注册资本: 100万元
- 经营范围: 仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、...
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