型号: | LCF |
产地: | 日本 |
品牌: | 日本大塚电子 |
评分: |
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本装置為針對LCD用的Color Filter(CF)來執行顯微分光測定動作及光學濃度測定動作的系統。
可執行的動作有透過色度測定、分光反射率測定、分光透過率測定、光學濃度(OD)測定。
關於透過色度測定是以透過的動作來執行檢出色度測定、指定波長的透過率,指定透過率的波長,並依據各個規格値來判定是否合乎標準。
另外,也可執行每個Panel的統計計算,並且進行統計值的規格值判定動作。
因使用了CCD Camera的畫像處理機能,所以可進行Auto Focus動作並執行量測功能,也因此即使在大型尺寸的Sample上常發生的Sample本身有彎曲或者是凹凸的情況,也不會影響其動作機能。
根據自動測定位置對位機能,操作員可以不需要自己執行測定位置對位作業,系統本身可以在R、G、B各Dot中心來量測出正確的分光透過率。
分光反射率測定為測定反射的Spectrum,並依照所指定的波長範圍來解析出最小反射率和其波長。
分光透過率測定為測定透過的Spectrum,並依照所指定的波長範圍來解析出最小透過率和其波長。
測定Recipe和測定項目部分,操作員可自行選擇來做測定動作。
本系統為利用手放片來放置基板。自動Stage移動與量測.
另外關於光學濃度(OD)測定可以說是將Black Matrix(BM)的吸光度利用Photo Multiplier檢出器來做高精度的測定動作。
彩色滤光片评价 | 色测量(透过光谱测量) 色度(XYZ,xy,Lab,L*a*b*,u'v',u*v*) 色差,白平衡 |
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反射率测量 * | |
浓度(OD)测量 * | |
画素幅测量 * | |
AF(自动对焦),结合自动绘素 * | |
膜厚评价 | 膜厚测量 |
膜物性解析(n:折射率,k:消减系数) |
自动对焦、自动对准功能:
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