ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀 SI 500_价格-北京亚科晨旭科技有限公司

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ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀 SI 500

SI 500是高刻蚀速率、低损伤刻蚀设备，特别针对III-V半导体和微光学应用

主要特点:

高速率刻蚀

低损伤

高深宽比

高一致性

平板三螺旋天线式PTSA等离子源(P)lanar (T)riple (S)piral (A)ntenna

远程控制

应用领域：III-V半导体化合物，微光学，微系统

SENTECH高级等离子设备操作软件

穿墙式安装方式

干涉式终点探测和刻蚀深度测量系统

系统配置:

PTSA ICP等离子源 (13.56 MHz, 1200 W)，集成自动匹配网络。

RF偏置(13.56 MHz, 600 W)

循环进气，集成到PTSA源内

高速率真空泵系统，独立气流压强控制

北京亚科晨旭科技有限公司为您提供ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀 SI 500，nullICP-RIE感应耦合等离子刻蚀 SI 500产地为德国，属于进口电子束曝光机，除了ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀 SI 500的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多电子束曝光机,ASTchian客服电话400-860-5168转4552，售前、售后均可联系。

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工商信息

信息已认证

企业名称: 北京亚科晨旭科技有限公司
企业类型:
信用代码: 110105009081828
成立日期: 2005年11月28日
注册资本: 500
经营范围: 技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）

型号：	ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀 SI 500
产地：	德国
品牌：
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