电子束光刻系统_价格-北京亚科晨旭科技有限公司

产品详情

电子束光刻系统

产品特点
1.采用高亮度和高稳定性的TFE电子枪
2.出色的电子束偏转控制技术
3.采用场尺寸调制技术，电子束定位分辨率（address size)可达0.0012nm
4.采用轴对称图形书写技术，图形偏角分辨率可达0.01mrad
5.应用领域广泛，如微纳器件加工，Si/GaAs

产品参数

产品参数
1.最小线宽：小于10nm（8nm available)
2.加速电压：1-50kV
3.电子束直径：小于2nm
4.套刻精度：20nm(mean+2σ)
5.拼接精度：20nm(mean+2σ)
6.加工晶圆尺寸：4-8英寸(standard)，12英寸(option)
7.描电镜分辨率：小于2nm

产品介绍

产品介绍
纳米光刻技术在微纳电子器件制作中起着关键作用,而电子束光刻在纳米光刻技
术制作中是zui好的方法之一。为21世纪先进纳米科技提供尖端
的电子束纳米光刻（EBL）系统，或称电子束直写（EBD）、电子束爆光系统。
系列zui小线宽可达8nm，zui小束斑直径2nm，套刻
精度 20nm(mean+2σ)，拼接精度 20nm(mean+2σ)。

北京亚科晨旭科技有限公司为您提供电子束光刻系统，null电子束光刻系统产地为日本，属于进口电子束曝光机，除了电子束光刻系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多电子束曝光机,ASTchian客服电话400-860-5168转4552，售前、售后均可联系。

问商家

电子束刻蚀电子束光刻系统的工作原理介绍电子束刻蚀电子束光刻系统的使用方法?电子束光刻系统多少钱一台?电子束刻蚀电子束光刻系统可以检测什么？电子束刻蚀电子束光刻系统使用的注意事项？电子束光刻系统的说明书有吗？电子束刻蚀电子束光刻系统的操作规程有吗？电子束刻蚀电子束光刻系统报价含票含运吗？电子束光刻系统有现货吗？

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 北京亚科晨旭科技有限公司
企业类型:
信用代码: 110105009081828
成立日期: 2005年11月28日
注册资本: 500
经营范围: 技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）

型号：	电子束光刻系统
产地：	日本
品牌：
评分：