RIE反应离子刻蚀 SI 591_价格-北京亚科晨旭科技有限公司

产品详情

RIE反应离子刻蚀 SI 591

反应离子刻蚀机SI 591采用模块化设计，可满足III/V半导体和Si加工工艺领域的的灵活应用。 SENTECH SI 591可应用于各种领域的蚀刻工艺中，能够完成多种刻蚀加工。

主要特点:

高均匀性和优重复性的蚀刻工艺

预真空锁loadlock

电脑控制操作

SENTECH高级等离子设备操作软件

数据资料记录

穿墙式安装方式

刻蚀终点探测

系统配置:

平行板式反应线圈，13.56 MHz (600 W)

喷淋头式进气

预真空锁loadlock，带有取放机械手

绝缘、冷却和加热电极(-25℃至80℃)，基底4"-8"直径，基底托架可支持小片材料和多晶圆。

PLC控制, PC

北京亚科晨旭科技有限公司为您提供RIE反应离子刻蚀 SI 591，nullRIE反应离子刻蚀 SI 591产地为德国，属于进口电子束曝光机，除了RIE反应离子刻蚀 SI 591的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多电子束曝光机,ASTchian客服电话400-860-5168转4552，售前、售后均可联系。

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Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 北京亚科晨旭科技有限公司
企业类型:
信用代码: 110105009081828
成立日期: 2005年11月28日
注册资本: 500
经营范围: 技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）

型号：	RIE反应离子刻蚀 SI 591
产地：	德国
品牌：
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