批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300_价格-北京亚科晨旭科技有限公司

产品详情

批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300

批处理式自然氧化膜去除设备RISETM-300是用于去除位于LSI的Deep-Contact底部等难以去除的自然氧化膜的批处理式预清洗装置。可处理200mm，300mm尺寸晶圆。

产品特性 / Product characteristics

• 高产率以及低CoO

• 良好的刻蚀均一性（小于±5%/批）和再现性

• 干法刻蚀

• Damage-Free（远端等离子、低温工艺）

• 自对准接触电阻仅为湿法的1/2

• 灵活的装置布局

• 高维护性（方便的侧面维护）

• 300mm晶圆批处理：50枚/批

产品应用 / Product application

• 自对准接触形成工艺前处理

• 电镀工艺前处理

• 晶膜生长前处理

• Co/Ni自对准多晶硅化物的前处理

北京亚科晨旭科技有限公司为您提供批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300，null批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300产地为日本，属于进口等离子体刻蚀设备，除了批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多等离子体刻蚀设备,ASTchian客服电话400-860-5168转4552，售前、售后均可联系。

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Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 北京亚科晨旭科技有限公司
企业类型:
信用代码: 110105009081828
成立日期: 2005年11月28日
注册资本: 500
经营范围: 技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）

型号：	批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300
产地：	日本
品牌：
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