国产光刻机单/双面光刻机URE-2000/A

国产光刻机单/双面光刻机URE-2000/A

参考价：面议
型号： URE-2000/A型紫外光刻机
产地： 四川
品牌： 螣芯电子
评分：
上海螣芯电子科技有限公司
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产品详情

        

 国产紫外单/双面光刻机URE-2000/A

产品名称：URE-2000/A型紫外光刻机

      

技术特点：

     该机采用i线紫外曝光光源，光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术，采用积木错位蝇眼透镜实        现高均匀照明，并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统（可同时使用），曝光能量高，聚光角度        小，突具厚胶曝光功能，曝光设定采用微机控制，菜单界面友好，操作简便。

主要技术指标：

  曝光面积：150mm×150mm
  分辨力：0.8～1μm（胶厚1.5μm的正胶）
  对准精度：±0.6μm
  胶厚范围：~500μm（SU8胶）
  掩模尺寸:3inch、4inch、5inch、7inch
  样片尺寸：直径Ф15mm-Ф150mm、厚度0.1mm-6mm
  照明均匀性：±3.5%Ф100mm)；±5.5%(Ф150mm)
  汞灯功率：1000W（直流）

  掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°



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售后服务
  • 产品货期： 100天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训
  • 安装调试时间： 到货后7天内
  • 电话支持响应时间： 24小时内
  • 是否提供维保合同： 否
  • 维修响应时间： 2天内
  • 节假日是否提供上门服务： 是
  • 核心零部件货期： 60天
  • 无理由退换货： 不支持

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