型号: | MARCH AP1000|AP600 |
产地: | 上海 |
品牌: | 螣芯电子 |
评分: |
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March AP-1000 等离子清洗系统,是专门设计适应 24 小时生产的严格要求的情况。此系统提供统一的等离子体,具有优良的可靠性、安全性及操作简单等优点。
AP-1000 平台是完全独立的,因此拥有小的层空间。泵、处理腔体、电子控制和 13.56MHz 电源供应都被安装在一个单一的外壳内。前面开门使得存取组件都很便利。泵安装在便于拆卸的滚筒上。
等离子室由带有铝夹具的 11-gauge 不锈钢构成的,具有优越的耐久性。
带有 HTP(高吞吐量)架选项的 AP-1000 等离子系统结合了可靠性和生产品质,证明 March 专利的 HTP 架的优势。AP-1000 HTP 优化在 RF 激励源产生的离子的应用,使在减少过程时间的时候,提高处理的一致性。
AP-1000 HTP 允许选择一系列工艺气体,例如氩气、氢气和氦气等。它装备 4 个质量流量控制器以达到完美工艺气体控制。
带有槽的 M/G 制具垂直安装在处理腔体中。出色的是,每块 M/G 制具可最小支撑 20 个框架。处理腔体可装 12 个 M/G 制具,这有 M/G 制具的尺寸决定。
触摸屏的 PLC 控制,提供了形象的图形界面和实时过程显示; 实时显示工艺过程,数据时时可调, 可存 64 个程序;
四种清洗模式:强洗、弱洗、无电子清洗、取胶; 可用来清洗敏感,易粹器件;
灵活的支架结构允许处理多种部分,在水平或竖直模式下;
13.56MHz 的电源具有自动阻抗匹配功能,因此具有出色的过程重复性; 专利的控制软件系统为统计过程控制产生过程和产品的数据;
双重真空吸尘,强力清洗,铝制清洗室,免污染。
外壳:涂层铝,泵、电子控制、处理腔体、发生器全部安装在内脚支架:697W×1513H×1127D(mm)
腔体:结构:不锈钢 11AWG,铝支
腔体尺寸:457W×457H×610D(mm) 可调整架数量:14
电源架工作规格:349W×425D(mm) 接地架工作规格:384W×425D(mm)
RF 功率:600W,固态自动调整(可升级为 1000W)
气体控制:4 个质量流量控制器
四、选项:
2个附加的质量流量控制器;
泵系统:下面带风扇的封装或干燥泵
油过滤系统
为腐蚀性气体除油雾系统
氢气发生器
垂直升降的门
接触角测角器(110或220V)
RF发生器提升到1000W
等离子软件,用于远程数据收集与控制
AP-1000 HTP制具
AP-1000 HTP制具
M/G制具 | 尺寸 |
6 | 105W×278H×216L(mm) |
8 | 70W×143H×205L(mm) |
12 | 105W×139H×216L(mm) |
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