8英寸通用物理气相沉积系统

8英寸通用物理气相沉积系统

参考价:面议
型号: Polaris系列
产地: 北京
品牌: 北方华创
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产品详情

Polaris系列 8英寸通用物理气相沉积系统

1、多种材料膜层工艺能力,低损伤,高深宽比填充能力 

Multi material film processing ability, low damage, high aspect ratio filling capability 

2、独立工艺腔室,最多可支持 6 个工艺模块 

Separate chamber and configure up to 6 process modules 

3、优异的温度,颗粒控制能力 

Excellent temperature control and particle control 

4、配置灵活、大产能、低运营成本 

Flexible configuration, higher throughput and lower CoO/CoC


技术参数

1、晶圆尺寸 6、8 英寸

2、适用材料 银、钨化钛、金、铂、钛、氮化钛、铝等

3、适用工艺 倒装工艺、金属电极等

4、适用领域 科研、化合物半导体、新兴应用、集成电路

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创 8英寸通用物理气相沉积系统Polaris系列 ,北方华创Polaris系列 产地为北京,属于国产物理气相沉积设备,除了 8英寸通用物理气相沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多物理气相沉积设备,客服电话,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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