型号: | NMC 612G |
产地: | 北京 |
品牌: | 北方华创 |
评分: |
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NMC 612G 12英寸金属刻蚀机
1、可用于铝、硅,氧化物、钼、氧化铟锡等多种材料刻蚀
Available for multiple material etching: Al, Si, OX, Mo, ITO, etc.
2、高性能静电卡盘,可用于 Si wafer 及玻璃片稳定吸附
High performance ESC for Si wafer and glass wafer
3、设备提供多种均匀性调节手段
Multiple uniformity tuning features
4、本土化服务及定制化软件配置能力
Localized services and software develop capability for customer′s demand
技术参数
1、晶圆尺寸 12英寸
2、适用材料 铝、硅、氧化物、钼、氧化铟锡
3、适用工艺 铝线、铝垫、硅、介质刻蚀、铝 / 钼 /ITO 等金属刻蚀
4、适用领域 新兴应用、集成电路
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