SAMCORIE等离子刻蚀设备RIE-300NR_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

ø300毫米RIE等离子蚀刻设备 RIE-300NR最大可达ø300 mm（12")

概要

RIE-300NR是一种理想的反应离子蚀刻系统，适用于加工ø300mm晶圆和多晶圆（ø3"×12，ø4"×8等），具有优异的均匀性。该系统的设计旨在最大限度地减少工厂空间需求，提高产量，最大限度地延长正常运行时间，并通过可靠的硬件和便捷的服务降低拥有成本。

主要特点和优点

最大加工范围：ø350 mm (ø3" x 12, ø4" x 8, ø12" x 1)
用户友好的触摸屏界面
全自动 "一键式 "操作，可完全手动操作。
优化的喷淋头可提供工艺气体的均匀性。
减少停留时间的近距离耦合气体输送箱。
对称的疏散设计与TMP相结合，形成了有效的流动。
自动压力控制，可精确控制工艺压力，不受气体流量影响。
干式泵和系统布局便于维护。

应用

去除夹层膜，用于ø300mm的失效分析。
蚀刻Si、SiO2、SiN和聚硅氧烷。
树脂的蚀刻和脱胶
光阻剂的灰化、剥离和除尘。
表面改性（润湿性和粘附性的改善

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供SAMCORIE等离子刻蚀设备RIE-300NR，SAMCORIE-300NR产地为日本，属于进口湿法腐蚀/刻蚀设备，除了RIE等离子刻蚀设备的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多湿法腐蚀/刻蚀设备,客服电话400-860-5168转5919，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	RIE-300NR
产地：	日本
品牌：	SAMCO
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