SAMCO原子层沉积（ALD）系统AD-230LP_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

等离子体强化的ALD设备 AD-230LP

卓越的重复性和稳定性

概要

AD-230LP是一种原子层沉积（ALD）系统，能够在原子水平上控制薄膜厚度。有机金属原料和氧化剂交替供给反应室，仅通过表面反应进行薄膜沉积。该系统具有负载锁定室，且不向大气开放反应室，因此能够实现薄膜沉积的优良再现性。

主要特点和优点

可以在原子层水平上实现均匀的层控制。
可实现高纵横比结构的共形沉积。
具有优良的平面内均匀性和再现性，实现了稳定的工艺。
采用独特的反应室结构，优化了原料的气路和气体流，抑制了粒子。
通过采用电容耦合等离子体(CCP)系统，使反应室体积最小化，缩短了气体吹扫时间，加快了一个循环的速度。

应用

氮化膜（AlN、SiN）的形成和低温形成的氧化膜（AlOx、SiO2）。
电子设备的闸门绝缘子
半导体、有机EL等的钝化膜。
半导体激光器的反射面
在MEMS等3D结构上的沉积
石墨烯上的沉积
碳纳米管保护膜粉末涂层

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供SAMCO原子层沉积（ALD）系统AD-230LP，SAMCOAD-230LP产地为日本，属于进口原子层沉积设备，除了原子层沉积（ALD）系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多原子层沉积设备,客服电话400-860-5168转5919，售前、售后均可联系。

问商家

SAMCO原子层沉积AD-230LP的工作原理介绍原子层沉积AD-230LP的使用方法?SAMCOAD-230LP多少钱一台?原子层沉积AD-230LP可以检测什么？原子层沉积AD-230LP使用的注意事项？SAMCOAD-230LP的说明书有吗？SAMCO原子层沉积AD-230LP的操作规程有吗？SAMCO原子层沉积AD-230LP报价含票含运吗？SAMCOAD-230LP有现货吗？

售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	AD-230LP
产地：	日本
品牌：	SAMCO
评分：