SAMCO深硅刻蚀设备RIE-802BCT_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

深硅蚀刻设备 RIE-802BCT

双室生产系统

概要

RIE-802BCT是采用电感耦合等离子体作为放电形式的两个反应室的量产用硅深孔系统。

标准配置有空气盒和晶圆边缘保护环，以及高精度的晶圆对准器。

该高性能系统能够进行高长宽比加工（超过100）和低扇形加工，同时保持高蚀刻率和抗蚀剂选择率。

主要特点和优点

高宽比处理
独特的等离子体发生器和反应器结构，在保持垂直蚀刻形状的同时，实现了高宽比加工。
低扇形加工
通过高速切换气体，在保持蚀刻速度的同时，可以减少扇贝。
2003年，Samco是日本第一家获得博世工艺许可的设备制造商。从那时起，我们建立的工艺库就可以对各种形状和材料进行加工

应用

MEMS的制造（加速度传感器、陀螺传感器、压力传感器、执行器等）。
喷墨打印头加工
通过TSV形成通硅。
生产功率器件(超结MOSFET)
等离子切割

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供SAMCO深硅刻蚀设备RIE-802BCT，SAMCORIE-802BCT产地为日本，属于进口湿法腐蚀/刻蚀设备，除了深硅刻蚀设备的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多湿法腐蚀/刻蚀设备,客服电话400-860-5168转5919，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	RIE-802BCT
产地：	日本
品牌：	SAMCO
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