| 型号： | Wafer Mapper-M |
| 产地： | 北京 |
| 品牌： | 致真精密仪器 |
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创新点
产品介绍
致真精密仪器-晶圆级原子力显微镜AFM利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征，可实现大晶圆级大样品形貌表征,电动样品定位台与光学图像相结合,可在 300X300 mm 区域实现1 um的定位精度,激光对准,探针逼近和扫描参数调整完全自动化操作。
致真精密仪器-晶圆级原子力显微镜AFM设备性能
XY方向噪声水平0.2 nm闭环,0.02nm开环
★Z方向噪声水平0.06nm闭环,0.03nm开环
★XY方向非线性度0.15%;Z方向非线性度:1%
扫描范围90umX90umX9um(典型值)80umX80umX8.5um(最小值)鸢0.58 x~7 x光学变倍镜头,光学分辨率可达3.45 um,可3 mm焦距微调样品尺寸:可检测12英寸晶圆并且向下兼容8、6、4英寸以及碎片样品,可自动上下料(选配)全自动探针逼近系统,行程35 mm,步进精度50 nm
致真精密仪器-晶圆级原子力显微镜AFM设备特色
工作模式:接触模式、轻敲模式、非接触模式、相位成像等
工作模式适配环境:空气、液相
可旋转式扫描头，更方便于更换探针以及多功能探针夹自动化位移台搭配0.58x~7x变倍光学变倍镜头更方便寻找样品适配12英寸晶圆并向下兼容各种晶圆尺寸
多功能配置:力曲线/力谱测量、表面电势测量、横向力显微镜、静电力显微镜、磁力显微镜、
压电力显微镜、扫描开尔文探针显微镜;刻蚀和纳米操作
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