型号: | MS-300 |
产地: | 安徽 |
品牌: | 致真精密仪器 |
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产品介绍
磁控溅射系统MS-300具有超高真空、单原子层沉积精度的特点,可以灵活选择阴极向上或向下溅射。磁控溅射系统MS-300标配3个2英寸超高真空阴极。满足实验室中科学研究的需求,维护简单,运行稳定。
晶圆尺寸
4inch向下兼容
镀膜均匀性
士2%
极限真空
5x10-8mbar(金属密封)
温控
RT-800°C
沉积精度
0.1nm
可选
低温泵、自动传输、反应溅射、膜厚仪、工艺菜单、等离子体分析仪等
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