磁控溅射MS-300
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磁控溅射MS-300

参考价:面议
型号: MS-300
产地: 安徽
品牌: 致真精密仪器
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产品详情

产品介绍

磁控溅射系统MS-300具有超高真空、单原子层沉积精度的特点,可以灵活选择阴极向上或向下溅射。磁控溅射系统MS-300标配3个2英寸超高真空阴极。满足实验室中科学研究的需求,维护简单,运行稳定。

晶圆尺寸

4inch向下兼容


镀膜均匀性

士2%


极限真空

5x10-8mbar(金属密封)


温控

RT-800°C


沉积精度

0.1nm


可选

低温泵、自动传输、反应溅射、膜厚仪、工艺菜单、等离子体分析仪等


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致真精密仪器(青岛)有限公司为您提供致真精密仪器磁控溅射MS-300,致真精密仪器MS-300产地为安徽,属于国产物理气相沉积设备,除了磁控溅射MS-300的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多物理气相沉积设备,null客服电话400-860-5168转6169,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 240天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训
  • 安装调试时间: 到货后10天内
  • 电话支持响应时间: 2小时内
  • 是否提供维保合同:
  • 维修响应时间: 1天内
  • 节假日是否提供上门服务:

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