型号: | MS-400 |
产地: | 安徽 |
品牌: | 致真精密仪器 |
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产品介绍
磁控溅射系统MS-400是一款多功能多靶磁控溅射系统,具有超高真空,单原子层沉积精度,设备维护简单的特点。磁控溅射系统MS-400标配6个2inch共焦超高真空阴极,满足实验室或企业实验室中工艺研究的需求,维护简单,运行稳定。
晶圆尺寸
4inch向下兼容
镀膜均匀性
士2%
极限真空
5x10-9mbar(金属密封)
温控
RT-1000°C
沉积精度
0.1nm
可选
共焦溅射、低温泵、垂直溅射、自动传输、反应溅射、膜厚仪、工艺菜单等
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