磁控溅射系统MS-400
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磁控溅射系统MS-400

参考价:¥50万 - 260万
型号: MS-400
产地: 安徽
品牌: 致真精密仪器
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产品详情

产品介绍

磁控溅射系统MS-400是一款多功能多靶磁控溅射系统,具有超高真空,单原子层沉积精度,设备维护简单的特点。磁控溅射系统MS-400标配6个2inch共焦超高真空阴极,满足实验室或企业实验室中工艺研究的需求,维护简单,运行稳定。

晶圆尺寸

4inch向下兼容

镀膜均匀性

士2%

极限真空

5x10-9mbar(金属密封)

温控

RT-1000°C

沉积精度

0.1nm

可选

共焦溅射、低温泵、垂直溅射、自动传输、反应溅射、膜厚仪、工艺菜单等


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致真精密仪器(青岛)有限公司为您提供致真精密仪器磁控溅射系统MS-400,致真精密仪器MS-400产地为安徽,属于国产物理气相沉积设备,除了磁控溅射系统MS-400的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多物理气相沉积设备,null客服电话400-860-5168转6169,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 240天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训
  • 安装调试时间: 到货后10天内
  • 电话支持响应时间: 2小时内
  • 是否提供维保合同:
  • 维修响应时间: 1天内
  • 节假日是否提供上门服务:

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