型号: | PLD-400 |
产地: | 安徽 |
品牌: | 致真精密仪器 |
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脉冲激光沉积系统PLD-400是高校和科研院所常用的氧化物和多组分薄膜沉积设备,该设备具有简单可靠、运行稳定的特点。脉冲激光沉积系统PLD-400标配6个1inch靶材,靶材可以原位更换,配合RHEED和准分子激光器可以实现高质量薄膜的沉积。
晶圆尺寸:2 inch
极限真空:5×10-9mbar
温控:RT-1200°C
靶台数量:6个1inch 靶材,公自转设计
激光源:可选准分子激光器
可选:低温泵、自动传输、反应溅射、膜厚仪、工艺菜单、高压RHEED等
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