牛津仪器Ionfab300刻蚀和沉积设备
普发真空APA污染管理解决系统
牛津仪器PlasmaPro100 ALE原子层刻蚀
产品性能:
该匹配器能够提供快速、准确和可靠的阻抗变换。可变电容由电机驱动,电机通过计算主板控制。
采用高速的匹配算法,可以调节电机的转速,即使是高Q值的系统也能达到准确的匹配效果。
通过调整内部继电器,调节不同档位,达到匹配。
应用对象:
该双频匹配器主要应用对象包括:刻蚀、PECVD系统
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