MTI 硅片几何参数（厚度，TTV，Bow，Warp）

报价 ¥10万 - 30万

综合评分暂无

仪器对比

品牌

MTI

型号

MTI 300i/300SA

产地

美洲美国

应用领域

暂无

赛伦科技

营业执照已认证

铜牌会员
第15年
一般经销商

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产品详情

仪器简介：
美国MTI公司为半导体行业硅片几何参数测量技术-电容探头领域的佼佼者，与昔日的ADE齐名：为世界半导体业硅片几何参数测量的标准测试设备；为纳斯达克上市企业。

主要参数：

1. Diameter: 150mm,200mm,300mm

2. Material: All semiconducting,and semi-insulating matrrials

3.Surfaces: As-Cut, Lapped, Etched,Polished,Patterned; Bare wafer/Quartz Base,Tape

4.Thickness: (ASTM F533),Range-+/-500um;Accracy-+/-0.25um; Repeatability-0.050um

5.TTV: (ASTM F533) Range-+/-500um; Accuracy-+/-0.050um; Repeatablity-0.050um

6.Bow:(ASTM F1390) Range-+/-250um; Accuracy-+/-2.0um; Repeatabiligy-0.75um

7.Flatness(Global)(ASTM F1530) Rang:8mm; Accuracy-+/-0.05um; Repeatbility-0.030um

8.Flatness(Site)(ASTM F1530) Rang:8mm; Accuracy: +/-0.05um; Repeatbiligy:0.030um

设备：

Proforma 300SA：半自动大12寸晶圆几何参数测量仪；

Proforma 200SA：半自动型大8寸晶圆几何参数测试仪；

测试数据/结果例子：

23-Sep-2013

Wafer Summary Report

Page:

1.00

Operator:

Administrator

Lot Number:

DK Wafer 200mm

Passed:

Measurement Date:

09/23/2013

Recipe:

200mm,33,m,1notch,1-29-13 1 run

Failed:

Measurement Time:

17:51:58

Yield:

100.0

Wafer

Center

Avg

Min

Max

3PT

LSQ

3PT

LSQ

Max

% Sites

Number

Thickness

TTV

Bow

Warp

Sori

GBIR

GF3R

GFLR

GBID

GF3D

GFLD

SBIR

SF3R

SFLR

SFQR

SBID

SF3D

SFLD

SFQD

Passed

(uM)

Low Limit

High Limit

1.00

shiny side

729.56

729.15

728.83

729.65

0.82

-0.20

-2.21

18.32

17.74

17.72

0.82

0.76

0.75

0.82

0.63

0.48

0.29

0.30

0.13

0.21

0.20

0.07

100.00

2.00

dull side

729.60

729.14

728.77

729.73

0.96

3.85

5.59

17.34

17.32

17.56

0.96

0.77

0.96

0.64

0.54

0.32

0.34

0.19

0.26

0.25

0.13

100.00

3.00

shiny side

729.52

729.10

728.77

729.61

0.84

0.33

-1.55

16.75

17.30

17.27

0.84

0.75

0.74

0.84

0.61

0.48

0.34

0.33

0.13

0.19

0.09

100.00

4.00

dull side

729.54

729.10

728.76

729.68

0.92

3.29

5.34

17.21

17.29

17.53

0.92

0.79

0.76

0.92

0.61

0.53

0.29

0.27

0.28

0.18

0.27

0.26

0.10

100.00

Minimum

729.52

729.10

728.76

729.61

0.82

-0.20

-2.21

16.75

17.29

17.27

0.82

0.75

0.74

0.82

0.61

0.48

0.29

0.27

0.28

0.13

0.19

0.07

100.00

Maximum

729.60

729.15

728.83

729.73

0.96

3.85

5.59

18.32

17.74

17.72

0.96

0.79

0.77

0.96

0.64

0.54

0.34

0.19

0.27

0.26

0.13

100.00

Average

729.56

729.12

728.78

729.67

0.89

1.82

1.79

17.41

17.52

0.89

0.77

0.76

0.89

0.62

0.51

0.31

0.16

0.23

0.10

100.00

Std Dev

0.030

0.022

0.028

0.044

0.056

1.772

3.681

0.573

0.190

0.162

0.056

0.015

0.012

0.056

0.014

0.025

0.022

0.029

0.025

0.032

0.029

0.030

0.021

0.000

200SA/300SA操作界面，3D图形貌显示

技术参数：

1. Diameter: 150mm,200mm,300mm

2. Material: All semiconducting,and semi-insulating matrrials

3.Surfaces: As-Cut, Lapped, Etched,Polished,Patterned; Bare wafer/Quartz Base,Tape

4.Thickness: (ASTM F533),Range-+/-500um;Accracy-+/-0.25um; Repeatability-0.050um

5.TTV: (ASTM F533) Range-+/-500um; Accuracy-+/-0.050um; Repeatablity-0.050um

6.Bow:(ASTM F1390) Range-+/-250um; Accuracy-+/-2.0um; Repeatabiligy-0.75um

7.Flatness(Global)(ASTM F1530) Rang:8mm; Accuracy-+/-0.05um; Repeatbility-0.030um

8.Flatness(Site)(ASTM F1530) Rang:8mm; Accuracy: +/-0.05um; Repeatbiligy:0.030um

主要特点：

典型用户

用户单位	采购时间
福建计量院	2017-10-18
锦州质检所	2015-06-16
无锡质检所	2015-08-18
中国计量院	2018-08-08
国家质检中心	2012-08-05
超硅	2011-11-09
敦南科技	2009-07-09
士兰微	2010-09-01
AXT（北京）	2009-07-09
浩天泰成	2011-06-06
华润微电子	2010-01-05