尺寸 |
500 x 610 x 640 mm |
重量 |
45Kg |
类型 |
手动的 |
测量样本大小 |
≤ 8", 12" |
测量方法 |
无连接的 |
测量原理 |
反射计 |
特点 |
测量迅速,操作简单
非接触式,非破坏方式
Print Function of Each View & Data Saving
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活动范围 |
200mm x 200mm(8"), 300mm x 300mm(12") |
测量范围 |
100Å~ 35㎛(Depends on Film Type) |
光斑尺寸 |
40㎛/20㎛, 4㎛(option) |
测量速度 |
1~2 sec./site |
应用领域 |
All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Wafer Measurement & OLED |
选项 |
Programmable Auto Z Stage
参考样品(K-MAC or KRISS or NIST)
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焦点 |
Coaxial Coarse and Fine Focus Controls |
附带照明 |
12v 100W Halogen Lamp |
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