仪器对比
关注
样本下载
特别声明：
EM01-PV-III多入射角激光椭偏仪（光伏专用）已升级至EMPro-PV极致型多入射角激光椭偏仪，主要升级内容包括：
- 单次测量速度提高3倍；
- 绒面测量精度提高66%；
- 新的仪器外形，整体稳定性增强。
EM01-PV-III为太阳能电池测试专用激光椭偏仪，用于单晶硅、多晶硅以及薄膜太阳能电池的膜厚和折射率测量，产品提供单晶硅专用太阳能电池样品台。
特点：
- 高精度、高稳定性
- 特定角度样品台，适合单晶硅太阳能电池的测量
- 适合绒面测量
- 操作简单
- 快速测量
- 快速、高精度样品方位对准
- 多角度测量
- 一体化集成设计
应用领域：
单晶、多晶及各种薄膜太阳能电池的折射率和膜厚测量领域，既适合科研院所研究使用，亦适合工厂进行工艺研究分析和产线上产品检测。
性能保证：
- 高稳定性的He-Ne激光光源、高精度的采样方法以及低噪声探测技术，保证了系统的高稳定性和高准确度
- 高精度的光学自准直望远系统，保证了快速、高精度的样品方位对准
- 稳定的结构设计、可靠的样品方位对准，结合先进的采样技术，保证了快速、稳定测量
- 分立式的多入射角选择，可应用于复杂样品的折射率和绝对厚度的测量
- 一体化集成式的仪器结构设计，使得系统操作简单、整体稳定性提高，并节省空间
- 专用软件方便太阳能电池测试和建模
技术指标：
|
激光波长 |
632.8nm(He-Ne laser) |
|
膜厚测量重复性 |
0.05nm(对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层) |
|
折射率精度 |
5x10-4(对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层) |
|
结构 |
PSCA |
|
激光光束直径 |
<1mm |
|
入射角度 |
40°-90°可选，步进5° |
|
样品方位调整 |
三维平移调节：±12.5mm（X-Y-Z三轴） 二维俯仰调节：±4° 光学自准直系统监视 |
|
样品台尺寸 |
Φ170mm |
|
单次测量时间 |
典型1.1s |
|
推荐测量范围 |
0-2000nm |
|
最大外形尺寸(长x宽x高) |
980 x 660 x 430mm (入射角为90º时) |
可选配件：
- 相关仪器
- 相关资料
EM01-PV 多入射角激光椭偏仪（光伏专用）信息由北京量拓科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于EM01-PV 多入射角激光椭偏仪（光伏专用）报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
相关产品
