EX3自动椭圆偏振测厚仪是基于消光法(或称“零椭偏”)测量原理,针对纳米薄膜厚度测量领域推出的一款自动测量型教学仪器。与EM22仪器相比,该仪器采用半导体激光器作为光源,稳定性好,体积更小。
EX3仪器适用于纳米薄膜的厚度测量,以及纳米薄膜的厚度和折射率同时测量。
EX3仪器还可用于同时测量块状材料(如,金属、半导体、介质)的折射率n和消光系数k。
仪器采用消光法椭偏测量原理,易于操作者理解和掌握椭偏测量基本原理和过程。
采用水平放置样品的方式,方便样品的取放。
集成一体化设计,简洁的仪器外形通过USB接口与计算机相连,方便仪器使用。
采用半导体激光器作为探测光的光源,稳定性高,噪声低。
可测量纳米薄膜的膜厚和折射率、块状材料的复折射率等。
仪器软件可自动完成样品测量,并可进行方便的测量数据分析、仪器校准等操作。
软件中设置了用户使用权限(包括:管理员、操作者等模式),便于仪器管理和使用。
利用本仪器,可通过适当扩展,完成多项偏振测量实验,如马吕斯定律实验、旋光测量实、旋光等。
EX3适合于教学中单层纳米薄膜的薄膜厚度测量,也可用于测量块状材料的折射率n和消光系数k。
EX3可测量的样品涉及微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、化学、电化学、磁质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等领域。
项目 | 技术指标 |
仪器型号 | EX3 |
测量方式 | 自动测量 |
样品放置方式 | 水平放置 |
光源 | 半导体激光器,波长635nm |
膜厚测量重复性* | 0.5nm (对于Si基底上100nm的SiO2膜层) |
膜厚范围 | 透明薄膜:1-4000nm 吸收薄膜则与材料性质相关 |
折射率范围 | 1.3 – 10 |
探测光束直径 | Φ2-3mm |
入射角度 | 30°-90°,精度0.05° |
偏振器方位角读数范围 | 0-360° |
偏振器步进角 | 0.014° |
样品方位调整 | Z轴高度调节:16mm 二维俯仰调节:±4° |
允许样品尺寸 | 圆形样品直径Φ120mm,矩形样品可达120mm x 160mm |
配套软件 | * 用户权限设置 * 多种测量模式选择 * 多个测量项目选择 * 方便的数据分析、计算、输入输出 |
外形尺寸 | (入射角度70°时)450*375*260mm |
仪器重量(净重) | 15Kg |
注:(1)测量重复性:是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量30次的标准差。
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