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镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。
产品特点:将激发和探测头引入生产设备,可实现:· 动态模式:实时监测膜厚变化· 光谱模式:监测薄膜的界面和组分
技术参数:可实现快速、实时在线监测样品膜层变化
其他 2015-09-28
电子/电气 2015-09-28
生物产业 2015-09-28
石油/化工 2015-09-28
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