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该设备具有新研制的电子光学系统和自动化功能,是一款用户友好型扫描电子显微镜。
· 革命性自动轴对中功能(自动光束对中、自动合轴等)
· 3kV 10nm分辨率,性能更优。
· 采用TMP分子泵真空系统,节省占地面积和电源功耗。
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罗姆仪器
培安公司
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