分辨率 高真空(二次电子) 低真空(背散射电子) | 3nm(30kV),8nm(3kV) / 选配 六硼化镧2nm(30kV),5nm(3kV) / | 工作真空 低真空 | / | 电子光学工作模式 | 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 | 放大倍率 | 2x-1,000,000x连续可调 | 加速电压 | 200V至30KV | 电子枪 | 钨灯丝/六硼化镧 | 探针电流 | 1pA至2μA | 扫描速度 | 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整 | 聚焦窗口 | 大小和位置连续可调 | 扫描特性 | 动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像 | 图象尺寸
| 最大可达8192×8192象素,图象比例可选1:1、4:3或2:1 | 显微镜控制 | 通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VEGA
TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现 | 自动程序 | 实时电子束追踪优化,束斑直径优化放大倍数,聚焦&消象散,对比度&亮度,扫描速度(根据信噪比),灯丝饱和调整,电子枪对中,光阑&透镜对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度等级调整 | 远程控制 | 通过TCP/IP |
| 样品室 | 内部尺寸 | φ230mm | 门宽 | 148mm | 接口数量 | 11+ | 样品室减振方式 | 气垫(可选配机械,内置主动式电磁减振) | +
可根据客户需求调整接口数量和位置。 |
| 样品载台 | 类型 | 全电脑化优中心 | 移动范围 | X=80mm——马达驱动 Y=60mm——马达驱动 Z=47mm——马达驱动 旋转:360°连续可调——马达驱动 倾斜:-80°到+80°——马达驱动 选配X、Y的移动范围:40*40mm,60*60mm | 样品高度 | 最大81mm |
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| 软件 | 测量软件 | 图象操作 | 图象处理 | 三维扫描 | 硬度测量
| 多图校正 | 投影面积 | 打印放大倍率 | 关机定时器 | 公差测量 |
| 形态学 | 颗粒度分析 | 自动抓图 | 图象观测 | 电子束写入 | 鼠标连接 |
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| ●标配 ○选配 |
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