温控夹盘系统（圆形） 美国Instec
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Instec
来自液晶先驱院校美国科罗拉多大学的精密温控装置与液晶检测设备
功能特点 |
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可编程精密控温。可独立控制，也可从上位机软件控制 |
超低的盘面温度梯度 |
独立的上盘面真空吸气槽，用于吸附固定多种尺寸晶圆 |
尺寸超薄，可集成进探针台 |
适用12 mm ~ 304 mm尺寸晶圆 |
软件可拓展性强，可提供LabView等语言的SDK |
#升级项# 性能可升级，详见 配置列表 |
#选择项# 台面为电接地 / 电悬空 |
#可选项# 台面开设用于起模顶杆的孔洞，可快速卸下样品 |
#可选项# 下盘面的真空吸气槽，用于将卡盘固定在实验平台上 |
可做改动或定制，详询上海恒商 |
技术参数 | ||
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通 用 参 数 | 温度分辨率 | 0.001℃ |
温度稳定性 | ±0.05℃(at 100℃) 可提升稳定性 | |
温度均匀度 | ±0.1℃/cm 可升级均匀性 | |
控温速度 | ±0.1℃/小时 | |
温度传感器 | 100Ω铂质RTD | |
温控方式 | 开关式PID 可升级为LVDC式PID | |
*其他技术参数请参考 常用型号选型表 | ||
配置列表 | ||
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标 准 | 温控晶圆夹盘（圆形） | 选1 |
mK2000温度控制器 软件免费，控制线有多种接口供选 | √ | |
升 级 | 从 BNC同轴接口 升级为 Triaxial三同轴接口 三同轴的漏电流和电噪声更小，可测皮安级微弱信号 |
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选 配 件 | 液氮制冷系统 包含液氮泵与液氮罐，使样品降至负温 | |
外壳水冷配件 用常温水或冰水循环防止外壳过热 | ||
固定支架 把夹盘固定在使用平台上，防止滑动 | ||
温控联动显微镜相机 温度-图像联动工作，附软件 | ||
线性可变直流电源(LVDC) 装在温控器里，抑制电噪音 | ||
*注：产品有多种配置变化，详询上海恒商 | ||
常用型号选型表 | ||||
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型号(字母T表示三轴接口) | 盘面尺寸 | 适用样品尺寸 | 温度范围 | 制热速度 |
HCC206R/HCC206RT | 150 mm | 12 mm ～ 152 mm | -100℃ ～ 200℃ | +60℃/分钟(at 100℃) |
HCC306R/HCC306RT | -100℃ ～ 310℃ | |||
HCC208R/HCC208RT | 200 mm | 40 mm ～ 203 mm | -80℃ ～ 200℃ | +50℃/分钟(at 100℃) |
HCC308R/HCC308RT | -80℃ ～ 310℃ | |||
HCC20CR/HCC20CRT | 300 mm | 95 mm ～ 304 mm | -60℃ ～ 200℃ | +30℃/分钟(at 100℃) |
HCC30CR/HCC30CRT | -60℃ ～ 310℃ | |||
*注：液氮泵型号不同，制冷表现也会有差异，请悉知。 夹盘上下表面的独立真空吸气槽(可选); 支持Swagelok接口(可选); 支持顶杆孔(可选); 制冷需液氮 | ||||
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Instec 为探针台增加样品温控功能的解决方案其他 2015-08-28
1年
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按客户需求人数培训
1年校准1次
非人为损坏免费维护
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