微波等离子去胶机

报价 ¥5万 - 10万

综合评分暂无

品牌

阿尔法

型号

Q系列

产地

欧洲德国

应用领域

暂无

营业执照已认证

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产品详情

微波等离子系统全自动系列

简介：

ALPHA Plasma 在半导体和电子行业里是一个全球化运营的微波等离子系统设备供应商。

我们专注于为晶圆制造和芯片封装产业提供先进的低压微波等离子技术。

我们的目标不仅仅是提供我们的精密设备，更是为我们客户提供一个能改进工艺的一站式等离。

ALPHA Plasma 的Q系列产品主要包括批处理式的2.45Ghz微波等离子去胶机，可以快速且无害的去除光刻胶。并且可以满足大多数在Descum过程中对一致性的严格要求。

除此之外，当Alpha Plasma Q系列产品配置一个晶圆用的加热卡盘时，它同样可用于单片晶圆的其他苛刻应用，比如SU-8,PI去除等。

技术选型指南：

		Q 150		Q 235			Q 240
Process Chamber	石英 Quartz					Glass
Chamber Size(mm)	φ150 x L260		φ240 x L260		φ240 x L460
Volume(L)	6		11		21
最大样片尺寸 Wafer Size		4”		6”			8”
Chamber door	铝制抽屉式,带微波屏蔽观察窗Aluminum,drawer type door with viewing port
工作压力 Working Pressure(Pa)		≤100
Microwave Source	2.45GHz,50~600W连续可调50~600W Adjustable				2.45GHz,50~1200W连续可调50~1200W Adjustable
Gas Supply	标配2路MFC控制最大支持6路 2 MFC Standard,Max to 6				标配3路MFC控制最大支持6路 3 MFC Standard,Max to 6
Vacuum Gauge	Pirani, 1~1*10⁵ Pa				Baratron, 1~1000Pa
Vacuum Valve	电子气动阀 Electro-pneumatic valve
显示屏尺寸 Display Size		7”		10.4”			10.4”
Interface	Ethernet,USB,RS 232
System Control	正版Windows Embedded Compact 2013,触摸控制图形界面显示, 图形化参数设置;支持权限控制、安全互锁、多级菜单设置;可保存并导出运行、报警、错误等数据;导出数据格式兼容Windows Office软件。 Windows Embedded Compact 2013, Graphical user interface Software.
Dimensions(mm)	W500H370D550		W620H500D550		W760H775D775
Weight(Kg)	40		70		95
Utilities	1 connection 3/N/PE AC 50/60 Hz 400/240 V 16 A
Vacuum Pump	标配干泵，可选配油泵 Dry pump or oil pump on request.
Options:
Wafer Boat	√
Light Tower	-		√
HT加热台盘 Heating Chuck		-		√
TC温控台盘 Temperature Control Chuck		-		√

典型用户