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该技术不需要将衬底加热到典型的PECVD温度,并且该方法非常适合沉积在有机物、柔性衬底和其它具有温度限制的表面上。
射频可通过Chuck改变薄膜性能。
该系统可以升级传送Loadlock,或添加到集群平台Cluster。
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Jansky
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