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亚纳米级三维扫描台
所属类别： ? 精密定位系统/平移台/扫描系统 ? 压电精密定位系统
产品简介
三维纳米定位工作台
亚纳米级三维定位工作台！
AU-NPS-XYZ系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计，使其达到纳米级的分辨率和重复性。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。灵活的模块化组合可以提供不同特点的三维微动台，满足不同类型的高分辨率的显微镜。
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AU-NPS-XYZ系列纳米三维维定位工作台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。
全行程采用电容位移传感器闭环反馈控制系统设计，电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用，而且拥有极高的精度，可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。
该三维微动台采用超级不胀钢（因瓦合金）结构，其热膨胀系数极小达到0.3ppm K-1，使热漂移达到最小，这对于纳米级的工作台来说是极其重要的。AU-NPS-XYZ系列微动台采用是由AU-NPS-XY-100A二维微动台与Z轴运动的一维微动台组合而成。因此三维微动台可以在X,Y方向可以分别提供100微米的闭环行程，在Z轴方向上可以提供15微米的闭环行程。而且可以提供四种不同的安装配置，使其满足不同的安放位置的需求。
AU-NPS-XYZ-100/Z15A 是由二维亚纳米扫描台AU-NPS-XY-100A与单轴Z向扫描台AU-NPS-Z-15A组合而成，因此该扫描台集合了二者的优势。在X轴和Y轴提供120微米的闭环行程，在Z轴提供16微米的行程，采用电容位移传感器，分辨率可达亚纳米级别。并且拥有极佳的线性和极低的迟滞。材质采用不胀钢，使其拥有极低的热漂移。
AU-NPS-XYZ-100/Z15H由AU-NPS-XY-100A和AU-NPS-Z-15H组合而成，因此这款三维扫描台性能与上一款性能相似。不同的是AU-NPS-Z-15H平台为中空的。
u 主要特点
l 亚纳米级的分辨率
l 高的带宽
l 高速响应
l 高的可靠性
l 结构紧凑
l 压电陶瓷驱动
l 柔性铰链设计
l 安装简单和简单的图像校准
l 电容位移传感器闭环反馈
l 迟滞/线性误差<0.005%
u 主要应用
高精度显微镜、投射显微镜、光学追踪、原子力显微镜、近场扫描光学显微镜、双光子显微镜等。
u 主要参数
型号 参数 | AU-NPS-XYZ-100/Z15A | AU-NPS-XYZ-100/Z15H | |
XY轴 | |||
Material | Super Invar | Super Invar (Bright nickel plated) | |
Size (mm) | 100 x 100 x 48 | 100 x 100 x 38.5 | |
Minimum | ± 50 | ± 50 | |
± 55 | |||
Maximum | |||
Static stiffness (Typical) | 1 N/μm | 1 N/μm | |
Fast | 0.4 | 0.7 | |
Medium | 0.3 | 0.5 | |
Slow | 0.1 | 0.25 | |
Linearity error (%) | Fast | ||
Medium | 0.01 | 0.01 | |
Slow | 0.02 | 0.02 | |
Hysteresis (peak to peak) (%) | Fast | ||
Medium | 0.005 | 0.005 | |
Slow | 0.01 | 0.01 | |
Z轴 | |||
Material | Super Invar | Super Invar | |
Range | Minimum | ± 7.5 | ± 7.5 |
Typical | ± 8.5 | ± 8.5 | |
Maximum | |||
Position noise (nm) | Fast | 0.1 | 0.5 |
Medium | - | 0.2 | |
Slow | 0.05 | 0.1 | |
Linearity error (%) | Fast | ||
Medium | 0.01 | 0.01 | |
Slow | 0.02 | 0.02 | |
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