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亚纳米级三维扫描台

报价 ¥5万 - 10万

品牌

昊量

型号

Nanopositioning_Stages

产地

欧洲德国

应用领域

暂无
该产品已下架

亚纳米级三维扫描台

所属类别: ? 精密定位系统/平移台/扫描系统 ? 压电精密定位系统


                                                

产品简介

 

三维纳米定位工作台


亚纳米级三维定位工作台!


AU-NPS-XYZ系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计,使其达到纳米级的分辨率和重复性。结合数字闭环控制器,纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。灵活的模块化组合可以提供不同特点的三维微动台,满足不同类型的高分辨率的显微镜。


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AU-NPS-XYZ系列纳米三维维定位工作台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。

 

全行程采用电容位移传感器闭环反馈控制系统设计,电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用,而且拥有极高的精度,可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器,纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。

 

该三维微动台采用超级不胀钢(因瓦合金)结构,其热膨胀系数极小达到0.3ppm K-1,使热漂移达到最小,这对于纳米级的工作台来说是极其重要的。AU-NPS-XYZ系列微动台采用是由AU-NPS-XY-100A二维微动台与Z轴运动的一维微动台组合而成。因此三维微动台可以在X,Y方向可以分别提供100微米的闭环行程,在Z轴方向上可以提供15微米的闭环行程。而且可以提供四种不同的安装配置,使其满足不同的安放位置的需求。

 

AU-NPS-XYZ-100/Z15A 是由二维亚纳米扫描台AU-NPS-XY-100A与单轴Z向扫描台AU-NPS-Z-15A组合而成,因此该扫描台集合了二者的优势。在X轴和Y轴提供120微米的闭环行程,在Z轴提供16微米的行程,采用电容位移传感器,分辨率可达亚纳米级别。并且拥有极佳的线性和极低的迟滞。材质采用不胀钢,使其拥有极低的热漂移。

 

亚纳米级三维扫描台

 


AU-NPS-XYZ-100/Z15HAU-NPS-XY-100AAU-NPS-Z-15H组合而成,因此这款三维扫描台性能与上一款性能相似。不同的是AU-NPS-Z-15H平台为中空的。

 

 

u  主要特点

l  亚纳米级的分辨率

l  高的带宽

l  高速响应

l  高的可靠性

l  结构紧凑

l  压电陶瓷驱动

l  柔性铰链设计

l  安装简单和简单的图像校准

l  电容位移传感器闭环反馈

l  迟滞/线性误差<0.005%

 

u  主要应用 

 高精度显微镜、投射显微镜、光学追踪、原子力显微镜、近场扫描光学显微镜、双光子显微镜等。

 

u  主要参数

             型号

参数

AU-NPS-XYZ-100/Z15A

AU-NPS-XYZ-100/Z15H

XY

Material

Super Invar

Super Invar   (Bright nickel plated)

Size (mm)

100 x 100 x 48

100 x 100 x 38.5

Range

Minimum

± 50

± 50

Typical

± 55

± 55

Maximum



Static stiffness (Typical)

1 N/μm

1 N/μm

Position noise   (nm)

Fast

0.4

0.7

Medium

0.3

0.5

Slow

0.1

0.25

Linearity error (%)

Fast



Medium

0.01

0.01

Slow

0.02

0.02

Hysteresis (peak to peak) (%)

Fast



Medium

0.005

0.005

Slow

0.01

0.01

Z

Material

Super Invar

Super Invar

Range

Minimum

± 7.5

± 7.5

Typical

± 8.5

± 8.5

Maximum



Position noise (nm)

Fast

0.1

0.5

Medium

-

0.2

Slow

0.05

0.1

Linearity error (%)

Fast



Medium

0.01

0.01

Slow

0.02

0.02


 




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