热板HP-150是为光刻、mems和类似应用中典型的软烘烤和硬烘烤工艺而开发的。默认情况下,温度范围设计高达250°C。设定温度和温度分布的范围很窄,这意味着可以获得高质量的涂层。HP系列由于其高度的均匀性和高精度的工艺重复性而令人信服。它可用于高达直径150mm,厚度高达为5mm的基材。
热板上覆盖着安全玻璃,这样更容易清洗。由于高质量和坚固的设计和易于操作,Sawatec热板优先用于实验室、研发、试验项目和研究所。
这些高精度、高价值的仪器可作为便携式工作台和台式装置。
特点(基本配置)
数字目标与实际值显示的温度控制
自动温度限位开关,无过热现象
带安全玻璃的加热板,易于清洁
加热板容易调平,防止光刻胶放电
真空手动固定基板
人工装卸基板
性能数据
温度范围:环境温度高达250°C
温度精度:100°C时+1°C
附加功能(选项)
N2冲洗手动控制,无氧化
一个简单的热板优质对齐设置工具
设计和尺寸
台式机HP-150-BT台式机HP-150-BM
紧凑、节省空间的设计
热板:164 x 164 mm,阳极氧化铝
外壳:阳极氧化铝
盖子:手动操作,阳极氧化铝
集成风扇安装模块:360 x 330 x 90mm(长x宽x高)
尺寸:300 x 250 x 120mm(长x宽x高)安装面板:200 x 90 x 98.5mm(长x宽x高)
重量:约7kg重量:约7kg
厂务:
230 VAC 50/60Hz 10A (350W)
技术真空,?6/4mm (-0.8bar)
BT排风机出风口
BM排气接头
100天
1年
安装调试现场免费培训
到货后7天内
24小时内
否
2天内
是
60天
不支持
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