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国产紫外单/双面光刻机URE-2000/A
产品名称：URE-2000/A型紫外光刻机
技术特点：该机采用i线紫外曝光光源，光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术，采用积木错位蝇眼透镜实 现高均匀照明，并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统（可同时使用），曝光能量高，聚光角度 小，突具厚胶曝光功能，曝光设定采用微机控制，菜单界面友好，操作简便。 |
主要技术指标： |
| 曝光面积：150mm×150mm |
| 分辨力：0.8～1μm（胶厚1.5μm的正胶） |
| 对准精度：±0.6μm |
| 胶厚范围：~500μm（SU8胶） |
| 掩模尺寸:3inch、4inch、5inch、7inch |
| 样片尺寸：直径Ф15mm-Ф150mm、厚度0.1mm-6mm |
| 照明均匀性：±3.5%Ф100mm)；±5.5%(Ф150mm) |
| 汞灯功率：1000W（直流） |
掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6° |
售后服务
100天
1年
安装调试现场免费培训
到货后7天内
24小时内
否
2天内
是
60天
不支持
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