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瑞士SAWATEC+匀胶机/喷胶机+SM150
匀胶机 SM-150 是手动或半自动薄膜涂覆的专业选择，适用于表面没有或有非常矮形貌的基板涂胶作业。所有市面上的光刻胶与涂层材料都可被均匀涂覆到尺寸高达为 150mm (6”)127x127mm (5”x5”)的基板上。工艺腔设计可满足大直径为 176mm。SM 系列的优点在于，具有令人信服的高度涂膜均匀性和工艺重复性，并且操作简单、使用舒适。为了使花费在工艺腔清洁上的精力降低，SAWATEC 公司开发了一种极其实用且经济的工艺腔保护碗。工艺结束后，可以简单地移除和清理这种保护碗。经由如此的高品质设计，也可以将维护成本降低。因此，SAWATEC匀胶机可被优先应用于实验室，研发，试产项目以及研究所。
该匀胶机可提供桌面便捷式和内嵌式两种。
功能(基本配置)
可编程，多达50 个程序(各包含 24 个程序段)
适用于重复工艺的快速启动功能
触摸屏面板控制，方便用户程序配置
工艺参数：转速、加速度、工艺时间
旋转方向可选 (顺时针、逆时针)
手动装卸基板
通过具有安全保护的真空系统进行基板固定
手动盖子带有空气入口和闭合安全保护
工艺结束时的声音信号
性能数据
转速范围：0 到 10,000rpm +/-1rpm
转速加速度：0–8,000rpm 为0.8秒/0–10,000rpm为1秒 1)
减速度：10,000rpm-0 为2.5秒/8,000rpm-0 为0.8秒 1)
工艺时间高达 2376 s
每个程序段的给胶时间为 99 s
1) 取决于基板尺寸和旋转卡盘的型号
附加功能(可选项)
半自动的管式给胶系统，带有手动给胶手臂和回吸功能的 50ml 玻璃注射管
工艺腔的手动氮气净化装置
用于简化操作的“启动/停止”脚踏开关(电缆长度 1.8m)
经阳极电镀处理的铝制工艺腔
铝制或 PE(聚乙烯)材料制成的工艺腔保护碗
用于 SM-150 匀胶机的真空泵
晶圆定位器 2”–6”(圆形)
100天
1年
安装调试现场免费培训
到货后7天内
24小时内
否
2天内
是
60天
不支持
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